[發明專利]一種利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置

在審

• 申請號: 201811451118.0
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN109444214A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發明（設計）人: 邰凱平;趙洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院金屬研究所
• 主分類號: G01N25/20
• 分類號: G01N25/20
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，該裝置包括樣品分析室、真空獲得系統、溫控系統、信號監測與自動記錄系統，具體結構如下：

樣品放在樣品分析室內的測試芯片上，樣品分析室為樣品測試提供所需要的真空、變溫和電路連接的測試環境；真空獲得系統與樣品分析室相連，為樣品提供真空的測試環境；溫控系統與樣品分析室內的加熱制冷臺相連，溫控系統實現對測試芯片進行加熱、制冷或者保溫，為樣品提供變溫測試環境；信號監測與自動記錄系統與溫控系統相連，進行溫度的自動設定和記錄，同時信號監測與自動記錄系統還與樣品分析室內測試芯片的電路進行連接。

2.按照權利要求1所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，真空獲得系統與真空腔體使用波紋管連接，真空計安裝于真空腔體的頂部，并通過導線與數據采集卡連接。

3.按照權利要求1所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，在真空腔體內，樣品放置在測試芯片上，測試芯片通過樣品臺與外部測試電路連接；樣品臺和測試芯片放置在加熱制冷臺上，密封電連接件設置于真空腔體的側面，真空腔體內樣品臺的引線、加熱制冷臺上的熱電偶引線經過密封電連接件引出。

4.按照權利要求1所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，真空獲得系統為機械泵或分子泵。

5.按照權利要求1所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，溫控系統的輸入端通過引線與樣品分析室內的加熱制冷臺相連，溫控系統的輸出端連接數據采集卡的輸入端，數據采集卡的輸出端連至電腦。

6.按照權利要求5所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，溫控系統采用的是PID或位式的溫控儀，溫控系統的輸出端安裝有RS232通訊模塊，溫控系統通過RS232通訊模塊與數據采集卡連接。

7.按照權利要求1所述的利用穩態法測量薄膜導熱性能的裝置，其特征在于，信號監測與自動控制系統包括電腦、數據采集卡、微歐表、直流穩壓電源、電路切換開關，其中：直流穩壓電源的引線通過密封電連接件與樣品臺連接，用于給測試芯片通電；微歐表通過引線連接樣品臺，在微歐表與樣品臺連接的引線上設置電路切換開關，用于實時監測測試芯片上的電阻變化；并且，微歐表、直流穩壓電源和電路切換開關通過數據采集卡與電腦連接。