[發明專利]一種梯度高硅鋼的制備工藝在審
| 申請號: | 201811448538.3 | 申請日: | 2018-11-30 |
| 公開(公告)號: | CN109280891A | 公開(公告)日: | 2019-01-29 |
| 發明(設計)人: | 鐘慶東 | 申請(專利權)人: | 湖南上臨新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/32 | 分類號: | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C22C33/04;C22C38/02 |
| 代理公司: | 岳陽市大正專利事務所 43103 | 代理人: | 皮維華 |
| 地址: | 414300 湖南省岳*** | 國省代碼: | 湖南;43 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅鋼 陰極靶材 制備工藝 高硅鋼 制備 等離子體 退火 渦流 多弧離子鍍膜 微量合金元素 磁性能檢測 感應加熱爐 高硅鋼薄板 氬氣 靶材表面 磁通集中 反應離子 高頻真空 濺射氣體 梯度分布 陰極電弧 陰極離子 抽真空 磁導率 電阻率 鍍膜室 合金錠 金屬硅 放電 純鐵 鍍膜 放入 遞減 澆鑄 備用 加工 改進 | ||
1.一種梯度高硅鋼的制備工藝,其特征在于包括如下步驟:
原料準備:原料準備:3.5wt%的99.95%純度金屬硅,93.5~94wt%的99.5%純鐵,2.5~3wt%的微量合金元素,其中微量合金元素為錳、鈮、釩等微量合金元素;
冶煉:50kg高頻真空感應加熱爐,將微量合金元素,99.95%純度金屬硅和純鐵按照比例放入50Kg高頻真空感應加熱爐中,抽真空后開始加熱,澆鑄成FeSi合金錠,然后加工成陰極靶材,備用;
多弧離子鍍膜技術:采用LZD1300電弧離子鍍膜設備,4G陰極電弧和磁控濺射;基體材料為上述陰極靶材,將上述陰極靶材放置于體積分數10%的HCL溶液中進行除銹,再置于無水乙醇中超聲清洗10min,吹干,放入鍍膜室;抽真空后,通入99.99%氬氣作為濺射氣體進行陰極離子鍍,在強磁場下,陰極電弧放電在靶材表面附近產生的等離子體,會被推向鍍膜區域;磁控濺鍍過程中Ar壓力維持在5Pa左右,磁控濺射沉積時間為1.5~2h,使表層硅含量達到6.5wt%左右;
退火:在550℃,真空環境下退火0.5~2h;
涂層:噴涂磷酸鹽與鉻酸鹽的絕緣膜;
檢查:SSTY-1500型單片硅鋼磁導計進行磁性能檢測。
2.根據權利要求1所述的一種梯度高硅鋼的制備工藝,其特征在:步驟d中真空環境為體積分數比3:7為H2+N2真空。
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