[發明專利]一種紅外有機傳感器在審
| 申請號： | 201811448111.3 | 申請日： | 2018-11-30 |
| 公開（公告）號： | CN109489834A | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 北京科易達知識產權服務有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/20 | 分類號： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100000 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 有機傳感器 有機材料 光學環形諧振腔 紅外探測信號 近紅外光信號 紅外光信號 下轉換材料 可見光 調控方式 輻射能量 高靈敏度 紅外傳感 紅外探測 紅外響應 頻率變化 無機材料 低成本 非制冷 紅外熱 可測量 熱應力 熱敏 制備 靈敏 轉化 | ||
【權利要求書】：
1.一種紅外有機傳感器，其特征在于結合光學環形諧振腔與紅外傳感有機材料，基于熱應力的調控方式，可實現高靈敏度的紅外響應。且紅外傳感芯片主要結構包括：探測波導，環形諧振腔波導和熱敏傳感材料傳感單元。
2.根據權利要求1所述的紅外傳感芯片，其中光學環形諧振腔由納米結構構成。
3.根據權利要求1所述的紅外傳感芯片，其中熱敏傳感材料為熱敏有機材料。
4.根據權利要求3所述的熱敏有機材料，其中熱敏有機材料受熱后會發生形變。
5.根據權利要求1所述的紅外傳感芯片，其中光學環形諧振腔中的激發光是通過倏逝波的形式傳播的。
6.根據權利要求1所述的紅外傳感芯片，其中進入環形諧振腔的激發光可以使熱敏有機材料傳感單元共振。
7.根據權利要求1所述的紅外傳感芯片，其中探測波導中的探測光是通過倏逝波進入諧振腔的。
8.根據權利要求3所述的熱敏有機材料，其中熱敏有機材料制作的微懸梁臂與基底有一個空氣間隙。
9.根據權利要求3所述的熱敏有機材料，其中熱敏有機材料表面或內部可以制作微納結構。
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