[發明專利]一種六軸機器人輔助目檢硅片裝置及輔助檢測方法

在審

• 申請號: 201811447717.5
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN109411396A
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 張亞昆;張淳;齊風;戴超;李諾;劉琦;孫晨光
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;G01N21/88
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

1.一種六軸機器人輔助目檢硅片裝置，其特征在于：包括框架(1)、六軸機器人(2)、輔助燈具和片籃(7)，硅片放置在片籃(7)中，六軸機器人(2)、輔助燈具和片籃(7)均位于框架(1)內，輔助燈具包括熒光燈(3)、條形燈(4)、強光燈(5)和光柵(6)，六軸機器人(2)與框架(1)上底座連接，熒光燈(3)和條形燈(4)設置在框架(1)頂上，且位于片籃(7)上方，強光燈(5)固定設置在片籃(7)上面，強光燈(5)的一側豎直設置有光柵(6)，六軸機器人(2)與六軸鼠標(8)連接。

2.根據權利要求1所述的六軸機器人輔助目檢硅片裝置，其特征在于：強光燈(5)的燈頭傾斜向下，照射在從片籃(7)取出的硅片上。

3.根據權利要求2所述的六軸機器人輔助目檢硅片裝置，其特征在于：強光燈(5)的燈頭位置向下傾斜60°。

4.根據權利要求1所述的六軸機器人輔助目檢硅片裝置，其特征在于：六軸鼠標(8)包括陀螺儀和慣性計。

5.一種使用如權利要求1-4任一項所述的六軸機器人輔助目檢硅片裝置輔助目檢的方法，其特征在于：包括如下步驟：

步驟一：六軸機器人(2)由HOME位置運動至右側裝滿硅片的片籃(7)工位，吸取硅片；

步驟二：六軸機器人(2)跟隨六軸鼠標(8)隨動，不斷調節硅片的擺放位置，經過大量的學習，記錄硅片出現的高頻位置，便于人工不斷進行操作；

步驟三：然后將取到的硅片分別送到指定位置，擺放位置出現偏差時，六軸機器人(2)控制權交由人工六軸鼠標(8)操控并記錄，便于下次的自動控制；

步驟四：人工操控六軸機器人(2)完成檢測后系統操作權限交由六軸機器人(2)自動控制；人工按下合格或不合格按鈕；

步驟五：合格的產品放到合格籃，不合格的放置到不合格籃，如此循環。