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[發明專利]一種基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法有效

專利信息
申請號: 201811442827.2 申請日: 2018-11-29
公開(公告)號: CN109298483B 公開(公告)日: 2021-05-18
發明(設計)人: 王霞;趙秋玲;呂浩;尤凱;劉靜;滕利華;高鵬;譚永炎 申請(專利權)人: 青島科技大學
主分類號: G02B6/02 分類號: G02B6/02;G03H1/00
代理公司: 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104 代理人: 黃曉敏;于正河
地址: 266061 山*** 國省代碼: 山東;37
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 全息 光刻 技術 制備 手性 woodpile 光子 晶體 方法
【權利要求書】:

1.一種基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法,其特征在于采用棱鏡組合系統實現手性Woodpile光子晶體的制備,棱鏡組合系統通過棱鏡A和棱鏡B上下排列組合產生,樣品設置在棱鏡A與棱鏡B之間,棱鏡B的底部臨近棱鏡A的下底面,棱鏡A采用Dove棱鏡,其上棱長為4.22cm,下棱長為3.09cm,左側棱長為2.18cm,右側棱長為1.59cm,厚度為1.27cm;棱鏡A的上下底面、前后側面為透明面,左右兩側為鏡面,右側面與下底面的夾角為75°,左側面與上底面夾角為135°;棱鏡B為正六切面棱鏡,棱鏡B的高H=3.50cm,半徑R=2.40cm,切面與水平面夾角,六等分角 ,從激光器發出的線偏光通過多孔光闌調節能夠產生光束 ,,,,具體過程為:

(1)從激光器發出的線偏光, 通過準直擴束系統和多孔光闌后獲得四束相干光,,,;

(2)四束相干光由上下兩部分組成,其中上部分為相干光,相干光從棱鏡A上表面入射到左側面并發生反射,繼而通過右表面發生反射,通過兩次鏡面反射后形成與水平方向呈30°夾角的光束,入射到樣品位置,下部分為三束相干光,,,通過選擇多孔光闌,使三束相干光從棱鏡B底部入射到側表面并發生反射,以相同入射角在棱鏡B底部匯聚到樣品位置,其中一束相干光透過棱鏡A 射入棱鏡B,通過棱鏡B的鏡面反射,反射到樣品位置,其余兩束相干光直接射入棱鏡B,通過棱鏡B鏡面反射,入射到樣品位置,三束相干光在水平面的投影的相鄰投影之間夾角均為60o

(3)上述四束相干光在匯聚處干涉,單次曝光形成手性Woodpile光子晶體,其中在匯聚處干涉的四束相干光波矢分別為:,,,,其中b ,d為晶格的長度。

2.根據權利要求1所述基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法,其特征在于制備的手性Woodpile光子晶體的晶格基矢為:

倒格基矢:

其中d為晶格的長度,p為晶格的高度。

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