[發明專利]一種基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法有效
| 申請號: | 201811442827.2 | 申請日: | 2018-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN109298483B | 公開(公告)日: | 2021-05-18 |
| 發明(設計)人: | 王霞;趙秋玲;呂浩;尤凱;劉靜;滕利華;高鵬;譚永炎 | 申請(專利權)人: | 青島科技大學 |
| 主分類號: | G02B6/02 | 分類號: | G02B6/02;G03H1/00 |
| 代理公司: | 青島高曉專利事務所(普通合伙) 37104 | 代理人: | 黃曉敏;于正河 |
| 地址: | 266061 山*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 基于 全息 光刻 技術 制備 手性 woodpile 光子 晶體 方法 | ||
1.一種基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法,其特征在于采用棱鏡組合系統實現手性Woodpile光子晶體的制備,棱鏡組合系統通過棱鏡A和棱鏡B上下排列組合產生,樣品設置在棱鏡A與棱鏡B之間,棱鏡B的底部臨近棱鏡A的下底面,棱鏡A采用Dove棱鏡,其上棱長為4.22
(1)從激光器發出的線偏光, 通過準直擴束系統和多孔光闌后獲得四束相干光,,,;
(2)四束相干光由上下兩部分組成,其中上部分為相干光,相干光從棱鏡A上表面入射到左側面并發生反射,繼而通過右表面發生反射,通過兩次鏡面反射后形成與水平方向呈30°夾角的光束,入射到樣品位置,下部分為三束相干光,,,通過選擇多孔光闌,使三束相干光從棱鏡B底部入射到側表面并發生反射,以相同入射角在棱鏡B底部匯聚到樣品位置,其中一束相干光透過棱鏡A 射入棱鏡B,通過棱鏡B的鏡面反射,反射到樣品位置,其余兩束相干光直接射入棱鏡B,通過棱鏡B鏡面反射,入射到樣品位置,三束相干光在水平面的投影的相鄰投影之間夾角均為60o;
(3)上述四束相干光在匯聚處干涉,單次曝光形成手性Woodpile光子晶體,其中在匯聚處干涉的四束相干光波矢分別為:,,,,其中b ,d為晶格的長度。
2.根據權利要求1所述基于全息光刻技術制備手性Woodpile光子晶體的方法,其特征在于制備的手性Woodpile光子晶體的晶格基矢為:
倒格基矢:
,
其中d為晶格的長度,
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