[發(fā)明專利]一種高壓線路傳輸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811439946.2
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN111243929B
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳兆超;李娜;程實(shí)然;侯永剛;劉海洋;邱勇;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京得信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11511
• 代理人: 孟海娟;崔建麗

本發(fā)明公開一種高壓線路傳輸裝置，包括旋轉(zhuǎn)接頭定子(1)、旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)子(2)、高壓線路(3)、密封體轉(zhuǎn)子(4)、密封體定子(5)、靜電卡盤支座(6)、高壓插針座(9)、高壓插針(10)、高壓線引線槽(11)和密封槽(12)，密封體轉(zhuǎn)子(4)為中空結(jié)構(gòu)，高壓線路(3)通過旋轉(zhuǎn)接頭的轉(zhuǎn)子(2)，從密封體轉(zhuǎn)子(4)和密封體定子(5)中穿過引入靜電卡盤支座(6)后，經(jīng)由高壓引線槽(11)連接固定在高壓插針(10)上，高壓插針(10)通過螺紋固定安裝在高壓插針座(9)上。本發(fā)明易于裝配維護(hù)，并且高壓線路的布局更加合理，能夠有效減少設(shè)備異常情況發(fā)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種高壓線路傳輸裝置。

背景技術(shù)

靜電卡盤被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、微電子制造、LED生產(chǎn)等領(lǐng)域，是半導(dǎo)體設(shè)備中常用的一種吸附和解吸附晶圓的裝置。上述加工生產(chǎn)過程都在腔室的真空環(huán)境中進(jìn)行，需要兩路高壓線路為其提供電壓，且接線插針最好處于大氣環(huán)境中，不僅有利于后期維護(hù)還能有效降低高壓線路的放電現(xiàn)象。

在新型離子束刻蝕設(shè)備中，從大氣環(huán)境同時(shí)傳輸至真空環(huán)境的除兩路高壓線路以外，還有三路氣和兩路水，因此在設(shè)計(jì)上述電、氣、水路傳輸過程中，需要單獨(dú)引出兩路高壓線路，并保證線路及其同靜電卡盤相連接的插針都處在大氣環(huán)境中，插針需要設(shè)計(jì)專門的絕緣座，方便插針固定和對地絕緣。另外，離子束刻蝕設(shè)備的電極(靜電卡盤)在工藝過程中需要一直旋轉(zhuǎn)著，這對高壓線路傳輸及其裝配操作性都有較高的要求。目前市場上離子束刻蝕使用的高壓線路傳輸，多數(shù)處于半真空狀態(tài)，直接用金屬桿件連接，使用時(shí)可能會(huì)出線接觸不良，且裝配和后期維護(hù)相對比較麻煩。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本發(fā)明公開一種高壓線路傳輸裝置，包括：旋轉(zhuǎn)接頭定子、旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)子、高壓線路、密封體定子、密封體轉(zhuǎn)子、靜電卡盤支座、高壓插針座、高壓插針、高壓線引線槽和密封槽，所述旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)子安裝于所述旋轉(zhuǎn)接頭定子上，所述旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)子與所述密封體轉(zhuǎn)子相連接，所述密封體定子安裝于所述密封體轉(zhuǎn)子上，所述靜電卡盤支座安裝于所述密封體轉(zhuǎn)子上，所述高壓插針座和所述高壓線引線槽設(shè)置在所述靜電卡盤支座上，所述高壓插針固定安裝在所述高壓插針座上，其中，所述密封體轉(zhuǎn)子為中空結(jié)構(gòu)，所述高壓線路通過所述旋轉(zhuǎn)接頭的轉(zhuǎn)子，從密封體轉(zhuǎn)子和密封體定子中穿過引入所述靜電卡盤支座后，經(jīng)由高壓引線槽連接固定在高壓插針上。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，還設(shè)置有水氣路通道，分布在所述高壓線路通道的周邊，并與所述高壓線路通道分離。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述高壓線路由外部固定輸出轉(zhuǎn)化為旋轉(zhuǎn)輸出，再穿過所述密封體轉(zhuǎn)子和密封體定子連接到高壓插針上，整個(gè)所述高壓線路的傳輸通道均處在大氣環(huán)境下。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述高壓線路包覆有絕緣層和塑料套管。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述塑料套管采用聚四氟乙烯材質(zhì)。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述高壓插針座采用絕緣塑料。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述絕緣塑料為聚醚醚酮。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，裝配時(shí)，將靜電卡盤支座上的高壓插針接入靜電卡盤的對插接頭。

本發(fā)明的高壓線路傳輸裝置中，優(yōu)選為，所述密封槽中放置有密封圈，所述密封圈的表面同所述靜電卡盤的下表面密封，將所述高壓線路的傳輸通道隔離在真空外。

附圖說明

圖1是一種高壓線路傳輸裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是高壓線路傳輸裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是高壓線路傳輸裝置與靜電卡盤裝配后的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：