[發(fā)明專(zhuān)利]一種雙工器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811438813.3
• 申請(qǐng)日: 2018-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109831174A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龐慰;鄭云卓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津大學(xué);諾思（天津）微系統(tǒng)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H03H7/46
• 分類(lèi)號(hào): H03H7/46
• 代理公司: 北京漢智嘉成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11682
• 代理人: 姜?jiǎng)?谷惠敏

本發(fā)明提供一種小型化雙工器，雙工器該具有封裝基板、制作有發(fā)送濾波器的晶圓和制作有接收濾波器的晶圓，制作有所述接收濾波器的晶圓通過(guò)晶圓鍵合與制作有所述發(fā)送濾波器的晶圓封裝在一起，所述制作有所述發(fā)送濾波器的晶圓通過(guò)焊球連接到封裝基板的頂部焊盤(pán)上；發(fā)送濾波器連接在所述天線端子與所述發(fā)送端子之間，由多個(gè)串聯(lián)連接的第一串聯(lián)單元和分別并聯(lián)于每相鄰兩個(gè)第一串聯(lián)單元間的第一并聯(lián)單元組成；接收濾波器連接在所述天線端子與所述接收端子之間，由多個(gè)串聯(lián)連接的第二串聯(lián)單元和分別并聯(lián)于每相鄰兩個(gè)第二串聯(lián)單元間的第二并聯(lián)單元組成；在發(fā)送濾波器的第一并聯(lián)單元與接收濾波器的第二并聯(lián)單元之間連接有耦合電容。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通信用濾波類(lèi)器件領(lǐng)域，特別涉及一種利用壓電效應(yīng) 原理制作的小型化雙工器。

背景技術(shù)

隨著5G通信時(shí)代的日益臨近，無(wú)線通訊終端和設(shè)備不斷朝著小型 化，多模-多頻段的方向發(fā)展，無(wú)線通信終端中的用于FDD(頻分復(fù)用 雙工)的雙工器的數(shù)量也隨之增加。五模十三頻，甚至五模十七頻逐 漸成為主流手機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)要求，對(duì)Band1、2、3、5、7、8等小尺寸，高 性能的雙工器的需求量也越來(lái)越大。

目前，能夠滿(mǎn)足通訊終端使用的小尺寸濾波類(lèi)器件主要是壓電聲 波濾波器，構(gòu)成此類(lèi)聲波濾波器的諧振器主要包括：FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator，薄膜體聲波諧振器)，SMR(Solidly Mounted Resonator，固態(tài)裝配諧振器)和SAW(Surface AcousticWave，表面 聲波諧振器)。其中基于體聲波原理FBAR和SMR制造的濾波器(統(tǒng) 稱(chēng)為BAW，體聲波諧振器)，相比基于表面聲波原理SAW制造的濾 波器，具有更低的插入損耗，更快的滾降特性等優(yōu)勢(shì)，但由于與SAW 所采用的平面蝕刻工藝不同，BAW主要采用薄膜工藝制作，因此通過(guò) 沉積不同的薄膜厚度，在一片硅晶圓上制作兩顆以上的濾波器難度非 常大。

一般的雙工器均采用兩顆濾波器芯片封裝的方式來(lái)制作。由兩顆 芯片與封裝基板形成的雙工器，由于裝配工藝對(duì)芯片之間的間距要求， 導(dǎo)致封裝效率偏低，一般只有50％～60％。但如果直接將兩片分別制作 有濾波器的晶圓，利用晶圓級(jí)封鍵合在一起，雙工器的隔離度性能會(huì) 因?yàn)殡姶篷詈献兊梅浅２睿綦x度只有-30dB～-40dB，性能下降太多導(dǎo) 致無(wú)法使用。

因此，如何設(shè)計(jì)一種利用將兩片分別制作用濾波器的晶圓鍵合在 一起形成的單顆芯片構(gòu)成的雙工器，同時(shí)具有較好的收發(fā)隔離度，仍 是待解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供一種雙工器，可以將兩片分別制作用濾波 器的晶圓鍵合在一起形成單顆芯片，同時(shí)達(dá)到較好的隔離度特性。

本發(fā)明的第一目的是提供一種雙工器，該雙工器具有天線端子、 發(fā)送端子和接收端子，

所述雙工器具備：

發(fā)送濾波器，其連接在所述天線端子與所述發(fā)送端子之間，由多 個(gè)串聯(lián)連接的第一串聯(lián)單元和分別并聯(lián)于每相鄰兩個(gè)第一串聯(lián)單元間 的第一并聯(lián)單元組成；

接收濾波器，其連接在所述天線端子與所述接收端子之間，由多 個(gè)串聯(lián)連接的第二串聯(lián)單元和分別并聯(lián)于每相鄰兩個(gè)第二串聯(lián)單元間 的第二并聯(lián)單元組成；和

耦合電容，其連接在發(fā)送濾波器中任意一個(gè)第一并聯(lián)單元的接地 端和接收濾波器中任意一個(gè)第二并聯(lián)單元的接地端之間。

本發(fā)明的第二目的是提供一種雙工器，該雙工器具有天線端子、 發(fā)送端子和接收端子，

所述雙工器具備：

發(fā)送濾波器，其連接在所述天線端子與所述發(fā)送端子之間，由多 個(gè)串聯(lián)連接的第一串聯(lián)單元和分別并聯(lián)于每相鄰兩個(gè)第一串聯(lián)單元間 的第一并聯(lián)單元組成；