[發明專利]激光劃片裝置及其光路變換機構和光路切換方法

在審

• 申請號: 201811438784.0
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN109352189A
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 李文;霍哲;沈慶豐;鄒震;張徐兵;卓遠;劉俊華;黃興俊;徐慶東;郭碩;尹倩倩
• 申請（專利權）人: 無錫奧特維科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/082;B23K26/064;B23K26/06
• 代理公司: 北京方圓嘉禾知識產權代理有限公司 11385
• 代理人: 黃立新

1.一種光路變換機構，其特征在于，所述光路變換機構包括一維振鏡以及位于所述一維振鏡周圍的至少兩個二維振鏡，所述一維振鏡動作將光路切換至其中一個所述二維振鏡的光束入射口。

2.根據權利要求1所述的光路變換機構，其特征在于，所述一維振鏡包括第一驅動裝置和第一反光鏡，所述第一驅動裝置帶動所述第一反光鏡轉動，將所述第一反光鏡接收到的光束依次分別反射至各個所述二維振鏡的光束入射口。

3.根據權利要求1所述的光路變換機構，其特征在于，所述一維振鏡包括第一反光鏡，所述第一反光鏡安裝在移動機構上，所述移動機構帶動所述第一反光鏡移動，將所述第一反光鏡接收到的光束反射至其中一個所述二維振鏡的光束入射口。

4.根據權利要求3所述的光路變換機構，其特征在于，所述一維振鏡的第一反光鏡接收到的光束反射至第四反光鏡，再通過所述第四反光鏡反射至其中一個所述二維振鏡的光束入射口。

5.根據權利要求1所述的光路變換機構，其特征在于，每個所述二維振鏡包括第一振鏡和第二振鏡，所述第一振鏡將所述二維振鏡光束入射口入射進來的光束沿著第一軸向進行反射，所述第二振鏡將所述二維振鏡光束入射口入射進來的光束沿著第二軸向進行反射，所述第一軸向和所述第二軸向不同。

6.根據權利要求5所述的光路變換機構，其特征在于，所述第一振鏡包括第二驅動裝置和第二反光鏡，所述第二振鏡包括第三驅動裝置和第三反光鏡，其中：

所述第二驅動裝置帶動所述第二反光鏡轉動，以將所述第二反光鏡接收到的光束沿著所述第一軸向進行反射；

所述第三驅動裝置帶動所述第三反光鏡轉動，以將所述第三反光鏡接收到的光束沿著所述第二軸向進行反射。

7.根據權利要求1所述的光路變換機構，其特征在于，所述光路變換機構還包括擴束鏡，所述擴束鏡的數量與所述二維振鏡的數量相等，所述擴束鏡分別安裝在所述二維振鏡的光束入射口，用于接收并且放大所述一維振鏡傳遞過來的光束。

8.根據權利要求1所述的光路變換機構，其特征在于，所述光路變換機構還包括場鏡，所述場鏡的數量與所述二維振鏡的數量相等，所述場鏡分別安裝在所述二維振鏡的光束出射口，用于匯聚增強光束的照射。

9.一種激光劃片裝置，其特征在于，所述激光劃片裝置包括：

激光機，用于發射激光光束；

如權利要求1-8中任一項所述的光路變換機構，所述光路變換機構的一維振鏡位于所述激光機的光束出射處，用以接收所述激光機發射的激光光束并改變其出射方向。

10.根據權利要求9所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述激光機、所述光路變換機構均固定安裝于安裝板上，所述安裝板下方安裝有高度調整機構，所述高度調整機構用于同步調整所述安裝板上的所述激光機以及所述光路變換機構的高度。

11.根據權利要求10所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述激光劃片裝置還包括支座，所述高度調整機構安裝于所述支座和所述安裝板之間，所述高度調整機構采用剪刀式結構。

12.根據權利要求9所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述二維振鏡有兩個，兩個所述二維振鏡位于所述一維振鏡的兩側并且對稱于所述激光機的軸線分布。

13.根據權利要求9所述的激光劃片裝置，其特征在于，所述二維振鏡有兩個，所述激光機與第一個所述二維振鏡位于同一條軸線上，所述一維振鏡位于所述激光機與第一個所述二維振鏡之間的一側，第二個所述二維振鏡位于第一個所述二維振鏡的另一側，第二個所述二維振鏡的光束入射口處安裝有第四反光鏡；所述一維振鏡移動到所述激光機與第一個所述二維振鏡之間時，將所述激光機發射的激光光束反射至所述第四反光鏡，并經所述第四反光鏡反射至第二個所述二維振鏡。