[發明專利]顯影機的顯影液堿液濃度控制系統及方法

在審

• 申請號: 201811437612.1
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN109343315A
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 韋智強;鄧強
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/32
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種顯影機的顯影液堿液濃度控制系統，其特征在于，包括：顯影液存儲罐(10)、與所述顯影液存儲罐(10)連接的濃度測量模塊(20)及液體補給模塊(30)以及與所述濃度測量模塊(20)及液體補給模塊(30)均連接的控制模塊(40)；

所述濃度測量模塊(20)用于測量顯影液存儲罐(10)中的顯影液的堿液濃度；

所述控制模塊(40)用于在顯影機處于空閑狀態時，當堿液濃度下降至小于一預設的濃度閾值時，控制液體補給模塊(30)在一預設的第一時間內提供顯影原液給顯影液存儲罐(10)，當堿液濃度上升至等于一預設的濃度上限閾值時，控制液體補給模塊(30)在一預設的第二時間內提供稀釋液給顯影液存儲罐(10)。

2.如權利要求1所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制系統，其特征在于，所述控制模塊(40)在顯影液存儲罐(10)中的顯影液的堿液濃度在一預設的第三時間內均大于或等于一預設的濃度閾值時，判斷顯影機處于空閑狀態。

3.如權利要求1所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制系統，其特征在于，所述預設的濃度閾值為2.38％；所述顯影原液為25％TMAH溶液；所述堿液為TMAH；所述稀釋液為去離子水。

4.如權利要求1所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制系統，其特征在于，所述濃度測量模塊(20)包括與顯影液存儲罐(10)連接的吸光度計(21)及濃度計(22)；

所述吸光度計(21)用于測量顯影液中的光阻濃度；

所述濃度計(22)用于測量顯影液中的光阻與碳酸根離子的整體濃度以及堿液濃度。

5.如權利要求4所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制系統，其特征在于，所述濃度計(22)包括與顯影液存儲罐(10)連接的感應器(221)以及與所述感應器(221)連接的濃度計本體(222)；所述感應器(221)包括沿豎直方向依次設置的溫度感應單元(2211)、超聲波感應單元(2212)及導電率感應單元(2213)。

6.一種顯影機的顯影液堿液濃度控制方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供顯影機的顯影液堿液濃度控制系統；該顯影機的顯影液堿液濃度控制系統包括：顯影液存儲罐(10)、與所述顯影液存儲罐(10)連接的濃度測量模塊(20)及液體補給模塊(30)以及與所述濃度測量模塊(20)及液體補給模塊(30)均連接的控制模塊(40)；

步驟S2、所述濃度測量模塊(20)測量顯影液存儲罐(10)中的顯影液的堿液濃度；所述控制模塊(40)在顯影機處于空閑狀態時，當堿液濃度下降至小于一預設的濃度閾值時，控制液體補給模塊(30)在一預設的第一時間內提供顯影原液給顯影液存儲罐(10)，當堿液濃度上升至等于一預設的濃度上限閾值時，控制液體補給模塊(30)在一預設的第二時間內提供稀釋液給顯影液存儲罐(10)。

7.如權利要求6所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制方法，其特征在于，所述步驟S2中，所述控制模塊(40)在顯影液存儲罐(10)中的顯影液的堿液濃度在一預設的第三時間內均大于或等于一預設的濃度閾值時，判斷顯影機處于空閑狀態。

8.如權利要求6所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制方法，其特征在于，所述預設的濃度閾值為2.38％；所述顯影原液為25％TMAH溶液；所述堿液為TMAH；所述稀釋液為去離子水。

9.如權利要求6所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制方法，其特征在于，所述濃度測量模塊(20)包括與顯影液存儲罐(10)連接的吸光度計(21)及濃度計(22)；

所述步驟S2中，所述吸光度計(21)測量顯影液中的光阻濃度；所述濃度計(22)測量顯影液中的光阻與碳酸根離子的整體濃度以及堿液濃度。

10.如權利要求9所述的顯影機的顯影液堿液濃度控制方法，其特征在于，所述濃度計(22)包括與顯影液存儲罐(10)連接的感應器(221)以及與所述感應器(221)連接的濃度計本體(222)；所述感應器(221)包括沿豎直方向依次設置的溫度感應單元(2211)、超聲波感應單元(2212)及導電率感應單元(2213)。