[發明專利]一種采用偏振激光散射檢測半導體材料亞表面損傷的裝置

有效

• 申請號: 201811429252.0
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109781665B
• 公開（公告）日: 2021-04-23
• 發明（設計）人: 張璧;白倩;殷景飛;李慶鵬
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01N21/49
• 分類號: G01N21/49;G01N21/59
• 代理公司: 大連東方專利代理有限責任公司 21212
• 代理人: 李洪福

1.一種采用偏振激光散射檢測半導體材料亞表面損傷的裝置，其特征在于：包括激光器(1)、偏振片(3)、偏振分光鏡(4)、聚焦透鏡組、針孔(10)和信號采集系統；

所述的激光器(1)提供光學系統的信號源；

所述的偏振片(3)放置于激光器(1)的前方，使激光出射光(2)變為線偏振激光；

所述的偏振分光鏡(4)放置于偏振片(3)的前方，用于反射經過偏振片(3)的激光，同時分離經過半導體材料(7)亞表面損傷散射而改變了原有偏振狀態的光，使之透過偏振分光鏡(4)；

所述的聚焦透鏡組包括上聚焦透鏡(9)和下聚焦透鏡(6)，上聚焦透鏡(9)和下聚焦透鏡(6)分別分布于偏振分光鏡(4)的上下兩側，下聚焦透鏡(6)放置于偏振分光鏡(4)的反射端，將偏振分光鏡(4)反射的激光束聚焦于半導體材料(7)表面；上聚焦透鏡(9)放置于偏振分光鏡(4)的透射端，匯聚經過半導體材料(7)亞表面散射而改變了原有偏振狀態的光；

所述的針孔(10)放置于上聚焦透鏡(9)上方的焦點處；

所述的信號采集系統對信號進行采集并進行分析處理，得到半導體材料(7)亞表面損傷分布情況，所述的信號采集系統包括光電探測器(11)、數據采集卡(17)、計算機(12)、運動控制器(13)和旋轉位移平臺(14)；

所述的光電探測器(11)放置于針孔(10)上方，探測通過針孔(10)的光；

所述的數據采集卡(17)接收光電探測器(11)的輸出信號；

所述的計算機(12)對數據采集卡(17)采集到的信號進行分析處理；

所述的運動控制器(13)接收計算機(12)的指令，控制旋轉位移平臺(14)運動；

所述的旋轉位移平臺(14)帶動半導體材料(7)位置變換，使得檢測激光的偏振方向(16)始終與磨紋(15)平行或者垂直。