[發明專利]一種高溫低壓多次反射池控制系統

在審

• 申請號: 201811424504.0
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109283157A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 陳乾
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01N21/39
• 分類號: G01N21/39;G05D27/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 吳海燕

1.一種高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，第一電動調節閥(2)、電子流量計(4)、多次反射池(7)、第二電動調節閥(13)、緩沖罐(16)、第三電動調節閥(17)、真空泵(19)；

第一電動調節閥(2)、電子流量計(4)、多次反射池(7)、第二電動調節閥(13)、緩沖罐(16)由高溫伴熱管線順序連接，緩沖罐(16)后接第三電動調節閥(17)和真空泵(19)；

還包括高溫控制部分和低壓控制部分。

2.根據權利要求1所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，所述高溫控制部分包括加熱膜、熱電偶、主控單元、電流源、ADC模塊、DAC模塊；

多次反射池(7)分為若干控溫區域，熱電偶分別測量各個控溫區域的溫度數據，主控單元通過ADC模塊采集溫度數據，經過相應的邏輯分析后控制DAC模塊的輸出電壓，進而控制電流源的輸出電流，從而改變各路加熱膜的加熱功率。

3.根據權利要求1所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，所述高溫控制部分包括三路加熱膜、三個熱電偶、第一主控單元(24)、三路電流源(26)、三路ADC模塊、三路DAC模塊；

多次反射池(7)平分為前中后三個控溫區域，三個熱電偶分別測量三個控溫區域的溫度數據，主控單元(24)通過三路ADC模塊采集溫度數據，經過相應的邏輯分析后控制三路DAC模塊的輸出電壓，進而控制三路電流源(26)的輸出電流，從而改變三路加熱膜的加熱功率。

4.根據權利要求2或3所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，還包括聚四氟乙烯保溫層(6)，聚四氟乙烯保溫層緊貼多次反射池外部的加熱膜。

5.根據權利要求1所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，所述低壓控制部分包括壓力傳感器、電子流量計、I/V轉換(33)、第二主控單元(35)、三路ADC模塊、三路DAC模塊；

第一壓力傳感器(11)連接多次反射池(7)，第二壓力傳感器(15)連接緩沖罐(16)；

電子流量計和壓力傳感器的輸出電流信號經過I/V轉換(33)后分別由三路ADC模塊采集，采集的數據輸入第二主控單元(35)，經過相應的邏輯分析后調節三路DAC模塊的輸出電壓，從而實現三路電動閥的開度控制。

6.根據權利要求5所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，當緩沖罐(16)中氣壓超過設定最高閾值時，關閉第一電動調節閥(2)，第二電動調節閥(13)、第三電動調節閥(17)處于全開狀態，啟動真空泵(19)；氣壓降至設定最高閾值時，關閉第二電動調節閥(13)，真空泵繼續工作；緩沖罐(16)中的氣壓降至設定最低閾值時，關閉第三電動調節閥(17)，關停真空泵(19)；由緩沖罐充當負壓源，實時微調第一電動調節閥(2)和第二電動調節閥(13)的開度，使多次反射池(7)內第一壓力傳感器(11)的示數穩定在設定值。

7.根據權利要求5所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，當緩沖罐(16)中氣壓超過設定值3kPa時，關閉第一電動調節閥(2)，第二電動調節閥(13)、第三電動調節閥(17)處于全開狀態，啟動真空泵(19)；氣壓降至設定值3kPa時，關閉第二電動調節閥(13)，真空泵繼續工作；緩沖罐(16)中的氣壓降至設定值200Pa時，關閉第三電動調節閥(17)，關停真空泵(19)；由緩沖罐充當負壓源，實時微調第一電動調節閥(2)和第二電動調節閥(13)的開度，使多次反射池(7)內第一壓力傳感器(11)的示數穩定在設定值。

8.根據權利要求5所述的高溫低壓多次反射池控制系統，其特征在于，還包括氣體預處理裝置(18)，連接于第三電動調節閥(17)和真空泵(19)之間，氣體預處理裝置用作高溫氣體的冷卻及過濾。