[發明專利]基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器

有效

• 申請號: 201811423034.6
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN109580981B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 易真翔;萬煜;鄧文俊;王立峰
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: G01P5/08
• 分類號: G01P5/08
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 熊玉瑋

1.基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述風速傳感器為柔性電感和硅基電感組成的雙層電感結構，所述柔性電感的金屬層與硅基電感的金屬層面對面且相互平行，柔性電感的金屬層與硅基電感的金屬層之間留有足夠互感電動勢的空氣腔，所述硅基電感金屬層中淀積有構成測定端口的接觸塊。

2.根據權利要求1所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述柔性電感為上層電感結構，硅基電感為下層電感結構。

3.根據權利要求1所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述硅基電感為上層電感結構，柔性電感為下層電感結構。

4.根據權利要求1所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述柔性電感通過在柔性襯底上淀積金屬層形成，在柔性襯底上旋涂光刻膠，刻蝕需要制備電感線圈的部位的光刻膠，采用蒸發法淀積金屬層后剝離光刻膠形成電感線圈。

5.根據權利要求1所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述硅基電感通過在硅襯底上淀積金屬層形成，在硅襯底上旋涂光刻膠，刻蝕需要制備電感線圈和接觸塊的部位的光刻膠，采用蒸發法淀積金屬層后剝離光刻膠形成電感線圈和接觸塊。

6.根據權利要求4所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器，其特征在于，所述柔性襯底為聚對苯二甲酸類襯底。

7.利用權利要求1至6中任意一項所述基于柔性電感-硅基電感結構的風速傳感器檢測風速的方法，其特征在于，固定柔性電感和硅基電感并調整二者之間的距離以使二者之間的空氣腔足夠互感電動勢，向空氣腔內送風，檢測測定端口的輸入回波損耗，根據輸入回波損耗曲線確定硅基電感的中心頻率點，反推硅基電感的中心頻率點與風速的關系式確定風速測量值。