[發明專利]音叉型水晶振動元件以及壓電器件

在審

• 申請號: 201811423024.2
• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN109842390A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 尾賀孝宏;吉田齊師
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/02;H03H9/10;H03H9/13;H03H9/21
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 王暉

本發明提供一種音叉型水晶振動元件以及壓電器件，在音叉元件中能夠減少安裝前后的振蕩頻率的變化。音叉元件(10)具備：基部(11)；一對振動臂部(12a、12b)，從基部11起在相同的長邊方向延伸；和錘部(16a、16b)，位于振動臂部(12a、12b)的前端。并且，在俯視下，將長邊方向的尺寸設為長度，將與長邊方向垂直的方向的尺寸設為寬度，將振動臂部(12a、12b)以及錘部(16a、16b)的長度與基準值x₀的差設為x，將錘部(16a、16b)的寬度與基準值y₀的差設為y，將單位設為μm時，以下的式(1)成立。?100≤x≤100、?30≤y≤3，且?0.3x?15≤y≤?0.3x+15…(1)。

本申請要求2017年11月28日提交的日本專利申請2017-227953的優先權，將其全部內容援引于此。

技術領域

本公開涉及基準信號源或者時鐘信號源中使用的音叉型水晶振動元件(以下簡稱為“音叉元件”。)、以及安裝有該音叉型水晶振動元件的壓電器件。

背景技術

關聯技術的音叉元件具備：基部、從基部起在相同的長邊方向延伸的一對振動臂部、和位于振動臂部的前端的錘部(參照JP特開2017-98765號公報)。并且，振動臂部具有槽部，在該槽部的內外具有激勵電極。根據該音叉元件，由于通過在振動臂部的前端具有錘部，能夠使振動臂部較短的狀態下降低彎曲振動的頻率，因此，能夠使得音叉元件小型化。此外，通過槽部的內外的激勵電極，能夠向振動臂部施加電壓。

發明內容

本公開的一實施方式的目的在于，提供在振動臂部的前端具有錘部的音叉元件中能夠減少安裝前后的振蕩頻率的變化的技術。

本公開的一實施方式所涉及的音叉元件具備：

基部；

一對振動臂部，從所述基部起在相同的長邊方向延伸；和

錘部，位于所述振動臂部的前端，

在俯視下，將所述長邊方向的尺寸設為長度，將與所述長邊方向垂直的方向的尺寸設為寬度，

將所述振動臂部以及所述錘部的所述長度的基準值設為x₀，將所述錘部的所述寬度的基準值設為y₀，

將所述振動臂部以及所述錘部的所述長度與所述基準值x₀的差設為x，將所述錘部的所述寬度與所述基準值y₀的差設為y，將單位設為μm時，以下的式(1)成立，

-100≤x≤100，-30≤y≤30，且

-0.3x-15≤y≤-0.3x+15…(1)。

根據本公開的一實施方式，通過改善振動臂部以及錘部的長度與錘部的寬度的關系，能夠在音叉元件的安裝前后減少振蕩頻率的變化。

附圖說明

圖1是表示實施方式1的音叉元件的俯視圖。

圖2A是圖1中的IIa-IIa線剖視圖，圖2B是表示安裝有圖1的音叉元件的壓電器件的示意剖視圖。

圖3是表示圖1的音叉元件的主要的尺寸的一例的俯視圖。

圖4A至圖4F是表示圖1的音叉元件的振動模式的示意俯視圖，圖4A是同相，圖4B是主振動，圖4C是海豚式，圖4D是單腿式，圖4E是扭曲(同相)，圖4F是扭曲(反相)。

圖5A是表示使臂長度x以及錘寬度y變化的情況下的free-fix的圖表。

圖5B是表示臂長度x以及錘寬度y與free-fix的關系的曲線。