[發明專利]碳納米管原子氧探測器及其制造方法在審
| 申請號： | 201811406448.8 | 申請日： | 2018-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN109307691A | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 劉宇明;沈自才;李蔓;劉向鵬;田東波 | 申請（專利權）人： | 北京衛星環境工程研究所 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100094 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碳納米管層 電極 探測器 碳納米管 原子氧 基底 碳納米管膜 薄膜電阻 測量原子 電阻變化 使用壽命 探測空間 氧探測器 氧原子 制造 測量 | ||
1.空間原子氧的碳納米管探測器，包括基底、碳納米管層、電極，其中碳納米管層設置在基底中間，碳納米管層的兩端各鍍上電極，通過測量兩電極之間的電阻變化來探測空間氧原子的注量。
2.如權利要求1所述的碳納米管探測器，其中，所述基底為玻璃基底或陶瓷基底。
3.如權利要求1所述的碳納米管探測器，其中，碳納米管層為碳納米管紙。
4.如權利要求1所述的碳納米管探測器，其中，碳納米管層是用導電銀漿料將碳納米管紙粘貼基底上形成的，基底大小要大于碳納米管紙條大小。
5.如權利要求1-5任一項所述的碳納米管探測器，其中，電極為金、鉑金、銀、銅金屬材料電極。
6.如權利要求1所述的碳納米管探測器，其中，碳納米管紙的尺寸為寬度從1mm至10cm，長度1cm至10cm的長條，碳納米管紙厚度從100nm-1mm。
7.如權利要求1所述的碳納米管探測器，其中，碳納米管膜的厚度為100nm-300nm。
8.空間原子氧的碳納米管探測器的制造方法，包括以下步驟：
1）將基底進行清潔處理，將長條形碳納米管層設置在基底上，碳納米管層的面積小于基底的面積；
2）用面積小于碳納米管層的長條形擋板對應設置在碳納米管層上，碳納米管層的兩端從擋板兩側面露出一部分；
3）將碳納米管層露出的側面部分鍍上電極，將電極兩端連接外部測量電路，并將擋板去除，形成探測空間原子氧的探測器。
9.如權利要求8所述的方法，其中，長條形碳納米管層為碳納米管紙，碳納米管紙的尺寸為從1mm至10cm，長度1cm至10cm的長條，碳納米管紙厚度從100nm-1mm，其通過導電銀漿料粘貼基底上。
10.如權利要求8所述的方法，其中，利用磁控濺射鍍膜或者電子束鍍膜方法，在露出的碳納米管紙上鍍金屬電極。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于北京衛星環境工程研究所，未經北京衛星環境工程研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811406448.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種調查石油烴土壤污染的方法、裝置及電子設備
- 下一篇：一種土壤水分監測系統
