[發(fā)明專利]一種鐳射調(diào)阻機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811404579.2
• 申請日: 2018-11-23
• 公開（公告）號: CN109664030A
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫標(biāo)
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽翔勝科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/70;B23K26/035
• 代理公司: 北京八月瓜知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11543
• 代理人: 路小龍

本發(fā)明公開了一種鐳射調(diào)阻機(jī)，包括機(jī)體、罩體、設(shè)置在罩體內(nèi)部的激光發(fā)射筒機(jī)構(gòu)和激光器分步動作控制系統(tǒng)運(yùn)動系統(tǒng)，所述激光發(fā)射筒機(jī)構(gòu)包括一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體對稱傾斜設(shè)置，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體的內(nèi)部均設(shè)置有激光發(fā)射器，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體的兩個側(cè)壁上均開設(shè)有螺孔，該螺孔內(nèi)均通過螺紋連接有鎖緊螺栓，所述激光發(fā)射器均通過鎖緊螺栓微調(diào)位置；本發(fā)明通過在激光發(fā)射筒機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)置一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體，再在一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體內(nèi)均設(shè)置激光發(fā)射器，能夠同時發(fā)射出兩束激光，從而提高該鐳射調(diào)阻機(jī)的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)械領(lǐng)域，特別涉及一種鐳射調(diào)阻機(jī)。

背景技術(shù)

激光調(diào)阻工藝已經(jīng)成熟應(yīng)用在厚膜、薄膜及半導(dǎo)體電路中，現(xiàn)今由于人們對器件的微型化要求越來越高甚至到苛刻的地步，電路的微型化要求也越來越高，在一些精密的厚、薄膜電路以及一些半導(dǎo)體電路中，對精密激光調(diào)阻機(jī)有著相當(dāng)高的要求，而且這些電路的工藝只有激光調(diào)阻才能解決。

激光調(diào)阻機(jī)是利用一束極細(xì)的激光束打在厚、薄膜電阻上，通過對電阻體氣化蒸發(fā)實現(xiàn)厚、薄膜電路的切割。激光束按計算機(jī)預(yù)定的程序切割厚、薄膜電阻，通過改變厚、薄膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值。隨著激光切割過程的進(jìn)行，通過實時測量電路能夠?qū)崟r監(jiān)視厚、薄膜電阻阻值的變化，使厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目標(biāo)阻值。當(dāng)厚、薄膜電阻達(dá)到目標(biāo)阻值后激光束關(guān)閉，即實現(xiàn)激光調(diào)阻的過程。

現(xiàn)有的激光調(diào)阻機(jī)的工作臺罩有兩種形式：上拉式或側(cè)拉式。上拉式工作臺罩的工作門沉重，當(dāng)向上開啟工作門時，需要較大氣力，開啟和關(guān)閉過程均不方便。側(cè)拉式工作臺罩的工作門為側(cè)向開門方式，占用較大空間，開啟后，如不小心依靠工作門，容易致使工作門變形，無法回位，同時，可能傷及工作人員。

另外，由于激光調(diào)阻加工時激光器分步動作控制系統(tǒng)需要重復(fù)運(yùn)動、探針需要重復(fù)升降，而且對運(yùn)動效率要求非常高，整個高速運(yùn)動對基臺會產(chǎn)生一定的反作用力，這對加工產(chǎn)品位置會有一定的影響。

因此，需要設(shè)計一種新型的鐳射調(diào)阻機(jī)用來解決以上的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種鐳射調(diào)阻機(jī)，可以有效解決背景技術(shù)中的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案為：

一種鐳射調(diào)阻機(jī)，包括機(jī)體、罩體、設(shè)置在罩體內(nèi)部的激光發(fā)射筒機(jī)構(gòu)和激光器分步動作控制系統(tǒng)運(yùn)動系統(tǒng)，所述激光發(fā)射筒機(jī)構(gòu)包括一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體對稱傾斜設(shè)置，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體的內(nèi)部均設(shè)置有激光發(fā)射器，所述一號激光發(fā)射筒體和二號激光發(fā)射筒體的兩個側(cè)壁上均開設(shè)有螺孔，該螺孔內(nèi)均通過螺紋連接有鎖緊螺栓，所述激光發(fā)射器均通過鎖緊螺栓微調(diào)位置。

優(yōu)選的，所述激光器分步動作控制系統(tǒng)運(yùn)動系統(tǒng)包括驅(qū)動電機(jī)和二號環(huán)形電磁鐵，所述驅(qū)動電機(jī)的外圍固定有一圈一號環(huán)形電磁鐵，所述二號環(huán)形電磁鐵設(shè)置在一號環(huán)形電磁鐵的外側(cè)，且所述驅(qū)動電機(jī)通過一號環(huán)形電磁鐵和二號環(huán)形電磁鐵相互間的斥力懸浮在空中。

優(yōu)選的，所述罩體的前側(cè)設(shè)置有前罩門，所述罩體的兩側(cè)壁為側(cè)框架，一個側(cè)框架的內(nèi)部底端的一角設(shè)置有一號主動輪，該側(cè)框架的內(nèi)部其他三角處均設(shè)置有從動輪，且該一號主動輪通過皮帶連接其他三個從動輪；另一個側(cè)框架的內(nèi)部底端的一角設(shè)置有與一號主動輪相對應(yīng)的二號主動輪，該側(cè)框架的內(nèi)部的其他三角處也均設(shè)置有從動輪，所述二號主動輪通過皮帶連接與其同一側(cè)的三個從動輪；所述前罩門固定在兩個皮帶上。