[發(fā)明專利]質(zhì)量流量控制裝置、反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)及調(diào)節(jié)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811390438.X
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN111208853B
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳正堂;蘇乾益
• 申請（專利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)流量計有限公司
• 主分類號: G05D27/02
• 分類號: G05D27/02
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種質(zhì)量流量控制裝置，其特征在于，其中，

質(zhì)量流量管路；

流量控制模塊，設(shè)置在所述質(zhì)量流量管路上，用于限制流經(jīng)的氣體流量；

驅(qū)動模塊，與所述流量控制模塊連接，用于驅(qū)動所述流量控制模塊移動，以調(diào)整流經(jīng)所述流量控制模塊的氣體流量；

所述質(zhì)量流量控制裝置還包括流量檢測模塊，設(shè)置在質(zhì)量流量管路上，用于檢測流經(jīng)的氣體流量；

所述流量檢測模塊包括分流器、流量傳感器和電路板，所述分流器設(shè)置在所述質(zhì)量流量管路上，所述流量傳感器用于檢測流經(jīng)的氣體流量；

所述流量控制模塊包括閥座和鎖緊螺母，在所述質(zhì)量流量管路的側(cè)壁上設(shè)置有通孔，所述閥座與所述通孔相對設(shè)置，所述鎖緊螺母固定在所述通孔上，閥桿穿過所述鎖緊螺母并延伸至所述閥座，借由所述閥座和所述鎖緊螺母共同引導(dǎo)所述閥桿在所述質(zhì)量流量管路上的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制裝置，其特征在于，所述流量控制模塊還包括閥片，所述閥片與所述閥桿連接，所述閥片設(shè)置在所述質(zhì)量流量管路上；

所述驅(qū)動模塊包括電機和減速器，所述減速器的輸出軸用于與所述閥桿連接，通過控制所述閥桿的旋轉(zhuǎn)角度以控制所述閥片的開度；所述減速器連接所述電機，用于降低所述電機輸出的轉(zhuǎn)速。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)量流量控制裝置，其特征在于，還包括聯(lián)軸器，所述減速器的輸出軸通過所述聯(lián)軸器與所述閥桿連接。

4.一種反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，包括反應(yīng)腔室和權(quán)利要求1-3中任一所述的質(zhì)量流量控制裝置，其中，所述質(zhì)量流量控制裝置連接所述反應(yīng)腔室，通過調(diào)節(jié)流經(jīng)所述質(zhì)量流量控制裝置的流量能調(diào)節(jié)所述反應(yīng)腔室的壓力；

所述反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)還包括壓力檢測單元和控制單元，所述壓力檢測單元與所述反應(yīng)腔室連接，用于檢測所述反應(yīng)腔室的實時壓力；

所述控制單元分別與所述壓力檢測單元和所述質(zhì)量流量控制裝置連接，用于根據(jù)當前壓力與預(yù)設(shè)壓力的大小關(guān)系，控制所述質(zhì)量流量控制裝置調(diào)節(jié)氣體流量,以將所述反應(yīng)腔室內(nèi)的壓力調(diào)整為所述預(yù)設(shè)壓力。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括冷卻排水單元，所述冷卻排水單元連接在所述反應(yīng)腔室與所述質(zhì)量流量控制裝置之間，用于對氣體進行降溫，并將降溫過程中形成的冷凝水排出。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述冷卻排水單元包括三通管路、位置傳感器和氣動閥；其中，

所述三通管路的第一端分別連接所述位置傳感器和所述氣動閥，所述三通管路的第二端連接所述反應(yīng)腔室，所述三通管路的第三端連接所述質(zhì)量流量控制裝置，并且，所述三通管路中連接所述反應(yīng)腔室和所述質(zhì)量流量控制裝置的管路為雙層管路，在所述雙層管路的內(nèi)層與外層之間通入冷卻介質(zhì)，以對流經(jīng)所述雙層管路的氣體進行冷卻；

所述傳感器用于檢測所述內(nèi)層和所述外層之間的降溫形成的冷凝水是否達到預(yù)設(shè)高度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)，其特征在于，所述三通管路采用石英材料制作。

8.一種反應(yīng)腔室的壓力調(diào)節(jié)方法，其特征在于，采用權(quán)利要求4-7中任一所述的反應(yīng)腔室壓力控制系統(tǒng)，所述壓力調(diào)節(jié)方法包括下述步驟：

檢測反應(yīng)腔室內(nèi)的當前壓力；

當所述當前壓力等于預(yù)設(shè)壓力時，使所述質(zhì)量流量控制裝置保持當前工作狀態(tài)；

當所述當前壓力小于所述預(yù)設(shè)壓力時，控制單元控制所述質(zhì)量流量控制裝置調(diào)節(jié)氣體流量，以將所述反應(yīng)腔室內(nèi)的壓力調(diào)整為所述預(yù)設(shè)壓力。