[發明專利]一種多透鏡陣列光軸垂直固化裝置

有效

• 申請號: 201811387924.6
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN109375331B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發明（設計）人: 汪洋;莫德鋒;張玨穎;吳家榮
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G02B7/02;B05C13/02;B05D3/02
• 代理公司: 上海滬慧律師事務所 31311
• 代理人: 郭英

1.一種多透鏡陣列光軸垂直固化裝置，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)、溫控模塊(3)和真空排氣管路(4)，其特征在于：

上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通過定位孔(1-1)和定位螺紋孔(2-1)螺接成真空密封腔體，上真空腔板(1)表面加工的真空排氣孔陣列(1-2)對多透鏡組(5)進行吸附,多透鏡陣列(5-1)的上下表面壓力差使多透鏡陣列(5-1)吸附于透鏡組支架(5-2)，實現多透鏡陣列(5-1)光軸垂直于透鏡組支架(5-2)內透鏡安裝面，下真空腔板(2)內部鏤空為中空腔體(6),并且與真空排氣管路(4)的排氣管(4-1)釬焊，實現整個腔體的真空抽氣，其中流量調節閥(4-2)控制氣體抽速，多透鏡陣列(5-1)光軸垂直后進行環氧膠點膠，并置于溫控模塊(3)上，對光軸垂直后多透鏡陣列(5-1)進行環氧膠加溫固化；所述的上真空腔板(1)和下真空腔板(2)采用紫銅或鋁合金高導熱材料。

2.根據權利要求1所述的一種多透鏡陣列光軸垂直固化裝置，其特征在于：所述的排氣管(4-1)采用紫銅、鋁或不銹鋼材料。