[發明專利]一種防止氮氣內漏的裝置

在審

• 申請號: 201811387415.3
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN111207303A
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 陳水波
• 申請（專利權）人: 蘇州工業園區可倫坡系統集成科技有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02;F17D3/01
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 周高

本發明公開了一種防止氮氣內漏的裝置，用于供氣設備，供氣設備包括復數個氣體鋼瓶、供氣總管、氮氣總管，氣體鋼瓶通過對應的供氣通道與供氣總管連接，氣體鋼瓶通過對應的氮氣通道與氮氣總管連接，供氣通道上設有供氣管關斷閥。氮氣通道上設有掃凈關斷閥、壓力檢測器、真空抽氣機構和氮氣隔離閥，掃凈關斷閥靠近氣體鋼瓶，氮氣隔離閥靠近氮氣總管，壓力檢測器和真空抽氣機構分別設于掃凈關斷閥和氮氣隔離閥之間，壓力檢測器與控制器連接，控制器與壓力警報器連接。本發明的防止氮氣內漏的裝置，用以解決現有技術中氮氣內漏污染制程氣體，造成產品的報廢且不易甄別等問題。

技術領域

本發明涉及氣體供應技術領域，具體涉及一種防止氮氣內漏的裝置。

背景技術

現有氣瓶柜供氣裝置中，如圖2所述，氣體鋼瓶1通過供氣通道3向外供氣，在換瓶時，氣體鋼瓶通過氮氣通道4進行氮氣掃凈，氮氣通道4上設有掃凈關斷閥2。在供氣過程中，掃凈關斷閥2漏氣時，將造成氮氣進入氣體鋼瓶1或供氣通道3中，污染制程氣體，造成產品的報廢。尤其是現代高端芯片制程要求的線徑，已微縮奈米級別，微量的氮氣污染，便意謂著巨大營利損失。

一般的氣瓶柜對這個氮氣泄漏的問題，無法防范，只有在產品出問題后，查找原因，才有可能發現問題。而且因為掃凈關斷閥屬于通道中間的閥，漏出的氣體會流到通道中，不會對外排放，即所謂的內漏，要找到內漏的問題，并確認問題點，需要有一定程度的專業能力，才能在眾多可能的原因中，甄別出問題屬于閥件內漏。

發明內容

本申請提供一種防止氮氣內漏的裝置，用以解決現有技術中氮氣內漏污染制程氣體，造成產品的報廢且不易甄別等問題。

為實現上述目的，本發明提供了一種防止氮氣內漏的裝置，用于供氣設備，供氣設備包括復數個氣體鋼瓶、供氣總管、氮氣總管，所述氣體鋼瓶通過對應的供氣通道與所述供氣總管連接，所述氣體鋼瓶通過對應的氮氣通道與所述氮氣總管連接，所述供氣通道上設有供氣管關斷閥。

防止氮氣內漏的裝置包括設于所述氮氣通道上的掃凈關斷閥、壓力檢測器、真空抽氣機構和氮氣隔離閥，所述掃凈關斷閥靠近所述氣體鋼瓶，所述氮氣隔離閥靠近氮氣總管，所述壓力檢測器和所述真空抽氣機構分別設于所述掃凈關斷閥和所述氮氣隔離閥之間，所述壓力檢測器與控制器連接，所述控制器與壓力警報器連接。

相對現有技術而言，本發明通過設置掃凈關斷閥和氮氣隔離閥，在氣體鋼瓶在供氣時，掃凈關斷閥和氮氣隔離閥都處在關閉狀態，使得掃凈關斷閥和氮氣隔離閥之間呈封閉狀態，通過真空抽氣機構將掃凈關斷閥和氮氣隔離閥之間抽成真空狀態，如果掃凈關斷閥泄漏，氣體鋼瓶內氣體會流向真空段，而不會反向流動，確保氮氣通道里氮氣不會流進氣體鋼瓶內；并且在掃凈關斷閥和氮氣隔離閥之間設有壓力檢測器，通過壓力檢測器檢測掃凈關斷閥和氮氣隔離閥之間壓力，在真空狀態下，如果掃凈關斷閥泄漏，壓力檢測器檢測到壓力值變大，壓力變化值大于1psig時，壓力警報器發出警報，操作人員收到警報，需轉知專業工程師，進行了解，做適當的維修。

進一步的改進在于，所述真空抽氣機構與所述控制器連接，通過控制器控制真空抽氣機構使得操作更為方便。

進一步的改進在于，所述供氣管關斷閥包括供氣管高壓關斷閥和供氣管低壓關斷閥，通過設置供氣管高壓關斷閥，壓力過高進行關斷，供氣管低壓關斷閥，壓力過低進行關斷，保證了通道內壓力維持在正常壓力下，確保了通道安全。

進一步的改進在于，所述供氣管高壓關斷閥、所述供氣管低壓關斷閥、所述掃凈關斷閥和所述氮氣隔離閥分別與所述控制器連接，通過控制器控制便于操作人員進行操作。

附圖說明

圖1為供氣設備的結構示意圖；

圖2為現有技術中的氣瓶柜供氣裝置的結構示意圖。

對應說明書附圖內的附圖標記參考如下：