[發明專利]基板載具、濺鍍裝置及濺鍍方法

有效

• 申請號: 201811386969.1
• 申請日: 2018-11-20
• 公開（公告）號: CN109628903B
• 公開（公告）日: 2020-01-21
• 發明（設計）人: 劉洪勝
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 44265 深圳市德力知識產權代理事務所
• 代理人: 林才桂;鞠驍

1.一種基板載具，其特征在于，包括框狀的本體(10)；所述本體(10)的內側面(11)設有多個通槽(12)，每一通槽(12)的兩端分別連接本體(10)的第一端面(13)及第二端面(14)；

每一通槽(12)包括沿第一端面(13)及第二端面(14)排列方向依次設置的第一區(121)及第二區(122)；每一通槽(12)在第一區(121)的槽深大于在第二區(122)的槽深；

每一通槽(12)的槽底與槽壁之間通過圓角連接，每一通槽(12)的槽壁與本體(10)的內側面(11)之間通過圓角連接。

2.如權利要求1所述的基板載具，其特征在于，所述本體(10)為矩形框，所述本體(10)的內側面(11)包括依次連接的第一面(111)、第二面(112)、第三面(113)、及第四面(114)。

3.如權利要求2所述的基板載具，其特征在于，所述第一面(111)及第三面(113)上均設有多個通槽(12)。

4.如權利要求3所述的基板載具，其特征在于，所述第一面(111)上的多個通槽(12)分別與第三面(113)上的多個通槽(12)一一相對。

5.如權利要求1所述的基板載具，其特征在于，每一通槽(12)在第一區(121)的槽深為10-12mm，每一通槽(12)的第一區(121)在本體(10)的第一端面(13)與第二端面(14)排列方向上的長度為1-3mm，每一通槽(12)在第二區(122)的槽深為2-4mm，每一通槽(12)的兩槽壁之間的距離為75-85mm。

6.如權利要求1所述的基板載具，其特征在于，所述本體(10)豎直放置。

7.如權利要求6所述的基板載具，其特征在于，還包括設于本體(10)的第一端面(13)上的固定元件(20)；

所述固定元件(20)用于在將基板設于本體(10)的第一端面(13)一側時將基板固定在本體(10)的第一端面(13)上。

8.一種濺鍍裝置，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的基板載具。

9.一種濺鍍方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1、提供如權利要求8所述的濺鍍裝置及基板(1)；

步驟S2、將基板(1)固定在本體(10)的第一端面(13)上，所述基板(1)覆蓋本體(10)的內側面(11)圍成的開口且與多個通槽(12)交疊，所述基板(1)的邊緣與本體(10)的內側面(11)間的距離為一預設距離，該預設距離大于通槽(12)在第二區(122)的槽深且小于通槽(12)在第一區(121)的槽深；

步驟S3、向基板(1)遠離本體(10)的一側濺鍍導電材料。