[發(fā)明專利]檢測裝置及檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811385767.5
• 申請日: 2018-11-20
• 公開（公告）號: CN111198192B
• 公開（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳魯;黃有為;崔高增;王天民
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 深圳市深佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44285
• 代理人: 王仲凱

1.一種檢測設(shè)備，其特征在于，包括：

光源發(fā)生器，用于生成待處理光線；

光源處理器，用于對所述待處理光線進(jìn)行調(diào)節(jié)處理，以在待測物上形成尺寸可調(diào)節(jié)的光斑，所述光斑為線光斑；

信號收集器，用于收集探測光，所述探測光由待檢測區(qū)域上的缺陷經(jīng)過所述光斑照射而產(chǎn)生，所述待檢測區(qū)域位于所述待測物的表面；

探測器，包括光敏區(qū)域，所述光敏區(qū)域用于對所述探測光進(jìn)行探測得到探測光信號；

所述光源處理器，還用于根據(jù)光闌組件調(diào)節(jié)所述線光斑的長度，所述光闌組件包括至少兩個用于調(diào)節(jié)所述待處理光線的透光區(qū)域，多個所述透光區(qū)域相互連通形成連通區(qū)，所述光闌組件的孔具有調(diào)節(jié)方向，所述光闌組件的孔沿所述調(diào)節(jié)方向的尺寸不同，所述調(diào)節(jié)方向垂直于待調(diào)光束的傳播方向。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述檢測設(shè)備還包括：

控制單元，用于控制所述信號收集器的放大倍率與所述光斑的尺寸匹配和處理所述探測光信號得到探測數(shù)據(jù)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述匹配為使光斑尺寸與放大倍率的乘積小于或等于所述探測器光敏區(qū)域的尺寸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述光源處理器包括透鏡組、光闌組件和運動臺；

其中，所述透鏡組用于對所述待處理光線進(jìn)行整形處理，形成待調(diào)光束，所述光闌組件，用于對部分待調(diào)光束進(jìn)行遮擋，調(diào)節(jié)所述光斑尺寸；光闌組件包括至少兩個透光區(qū)域，至少兩個透光區(qū)域臺通過的待調(diào)光束不同；所述運動臺用于帶動所述光闌組件運動，使所述待調(diào)光束照射不同的透光區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測設(shè)備，其特征在于，

所述光闌組件包括至少兩個孔，所述至少兩個孔中的每個孔的尺寸各不相同，所述孔用于使部分待調(diào)光束通過，

所述運動臺用于搭載所述光闌組件垂直于所述待調(diào)光束的傳播方向運動，所述光闌組件的運動方向與所述孔的排列方向平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的檢測設(shè)備，其特征在于，

所述信號收集器包括：至少兩個收集組件，至少兩個收集組件的放大倍率不同。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述信號收集器還包括切換裝置，用于使不同的收集組件切換至光路中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測設(shè)備，其特征在于，

所述信號收集器包括一套信號收集裝置，所述信號收集裝置包括：至少兩個所述收集組件和所述切換裝置，所述收集組件包括物鏡，所述切換裝置包括物鏡切換裝置；

其中，所述至少兩個物鏡用于收集所述探測光，所述至少兩個物鏡中的每一個物鏡的倍率各不相同，所述至少兩個物鏡中的每一個物鏡收集的探測光入射到所述探測器中；

所述物鏡切換裝置用于切換物鏡，以調(diào)整所述信號收集器的放大倍率。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的檢測設(shè)備，其特征在于，所述物鏡為顯微物鏡，所述信號收集器還包括管鏡，所述物鏡收集的探測光經(jīng)過所述管鏡后入射到所述探測器中。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測設(shè)備，其特征在于，

所述信號收集器為一套信號收集裝置，所述信號收集裝置包括：顯微物鏡、至少兩個所述收集組件和所述切換裝置；所述收集組件包括管鏡，所述切換裝置包括管鏡切換裝置；

其中，所述顯微物鏡用于收集所述探測光，所述顯微物鏡收集的探測光經(jīng)過所述至少兩個管鏡中的一個管鏡入射到所述探測器中，所述至少兩個管鏡中的每一個管鏡的倍率各不相同；

所述管鏡切換裝置用于切換管鏡，以調(diào)整所述信號收集器的放大倍率。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的檢測設(shè)備，其特征在于，

當(dāng)所述信號收集器包括至少兩套信號收集裝置時，每套信號收集裝置分別收集不同方向的探測光，每套信號收集裝置均具有所述收集組件，用于收集所述探測光，每套信號收集裝置的收集組件的倍率各不相同。