[發明專利]光纖二維振動傳感器及其制作方法有效
| 申請號： | 201811383452.7 | 申請日： | 2018-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN109374112B | 公開（公告）日： | 2020-07-14 |
| 發明（設計）人： | 吳勝楠;何賽靈;譚沁 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 邱啟旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光纖 二維 振動 傳感器 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種光纖二維振動傳感器，其特征在于，包括單模光纖，所述單模光纖的端部為光纖懸臂梁，光纖懸臂梁上套有光纖毛細管，光纖毛細管的一端與單模光纖固定連接，光纖毛細管的另一端封堵有薄膜，所述光纖懸臂梁、光纖毛細管以及薄膜之間形成法布里-珀羅干涉腔。
2.根據權利要求1所述的一種光纖二維振動傳感器的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
（1）將單模光纖的端部加工出光纖懸臂梁；
（2）將光纖懸臂梁內嵌入光纖毛細管中并固定連接；
（3）將光纖毛細管外端鍍薄膜，形成法布里-珀羅干涉腔。
3.根據權利要求2所述的一種光纖二維振動傳感器的制作方法，其特征在于，采用化學腐蝕法或拉錐工藝將單模光纖的端部加工出光纖懸臂梁。
4.根據權利要求2所述的一種光纖二維振動傳感器的制作方法，其特征在于，采用環氧樹脂固定或利用熔接機進行放電熔接的方式將光纖懸臂梁與光纖毛細管固定連接。
5.根據權利要求2所述的一種光纖二維振動傳感器的制作方法，其特征在于，所述薄膜采用彈性材料。
6.根據權利要求5所述的一種光纖二維振動傳感器的制作方法，其特征在于，所述彈性材料為聚二甲基硅氧烷、聚對苯二甲酸乙二醇酯或石墨烯。
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