[發(fā)明專利]相位對(duì)焦圖像傳感器及其形成方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811382930.2
• 申請(qǐng)日: 2018-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN109346494A
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張東亮;陳世杰;黃曉櫓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐文欣;吳敏

1.一種相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，包括：

半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括相位對(duì)焦區(qū)，所述半導(dǎo)體襯底具有相對(duì)的第一面和第二面；

位于半導(dǎo)體襯底相位對(duì)焦區(qū)內(nèi)的第一感光結(jié)構(gòu)，所述第一感光結(jié)構(gòu)包括相對(duì)的第一表面和第二表面，所述第一感光結(jié)構(gòu)包括吸收層，所述吸收層用于吸收紅外光，所述第一感光結(jié)構(gòu)第一表面暴露出所述吸收層；

位于半導(dǎo)體襯底相位對(duì)焦區(qū)第二面表面的第一濾光層，所述第一濾光層通過自然光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述第一感光結(jié)構(gòu)還包括：第一感光層，所述第一感光結(jié)構(gòu)第二表面暴露出第一感光層，所述第一感光層包括相對(duì)的第三面和第四面，所述第一感光結(jié)構(gòu)第三面到半導(dǎo)體襯底第一面的距離小于第一感光層第四面到半導(dǎo)體襯底第一面的距離；所述吸收層位于所述第一感光層的第四面表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述半導(dǎo)體襯底第二面暴露出吸收層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述吸收層的厚度為200埃～300埃。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述吸收層的材料包括鍺，硫化鋅，碲鎘汞，硒化鋅或聚苯胺等。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述第一濾光層的材料為透明材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述第一感光結(jié)構(gòu)僅包括吸收層，所述吸收層內(nèi)具有摻雜離子；所述吸收層的材料包括鍺，硫化鋅，碲鎘汞或硒化鋅。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，還包括：所述半導(dǎo)體襯底還包括圖像捕獲區(qū)；位于所述半導(dǎo)體襯底圖像捕獲區(qū)內(nèi)的第二感光層，所述半導(dǎo)體襯底第一面暴露出第二感光層；位于所述半導(dǎo)體襯底圖像捕獲區(qū)第二面表面的第二濾光層，所述第二濾光層通過單色光。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，還包括：位于所述第二濾光層表面的阻擋層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述阻擋層包括石英低通濾鏡。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，還包括：位于所述第一濾光層表面的第一微透鏡層；位于所述阻擋層表面的第二微透鏡層。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，所述相位對(duì)焦區(qū)包括第一區(qū)和第二區(qū)，第一區(qū)和第二區(qū)相鄰；所述第一感光結(jié)構(gòu)位于半導(dǎo)體襯底的第一區(qū)和第二區(qū)內(nèi)，位于所述半導(dǎo)體襯底第一區(qū)和半導(dǎo)體襯底第二區(qū)的第二面表面的第一濾光層；所述第一微透鏡層包括第一透鏡、第二透鏡和第三透鏡，所述第一透鏡位于第一區(qū)的第一濾光層表面，所述第二透鏡位于第二區(qū)的第一濾光層表面，所述第三透鏡覆蓋第一透鏡和第二透鏡表面。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的相位對(duì)焦圖像傳感器，其特征在于，還包括：設(shè)置于第一微透鏡層和第二微透鏡層上方的對(duì)焦馬達(dá)；設(shè)置于對(duì)焦馬達(dá)上方的鏡頭模組。

14.一種如權(quán)利要求1至13任一項(xiàng)所述的相位對(duì)焦圖像傳感器的形成方法，其特征在于，包括：

提供半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底包括相位對(duì)焦區(qū)，所述半導(dǎo)體襯底具有相對(duì)的第一面和第二面；

在所述半導(dǎo)體襯底相位對(duì)焦區(qū)內(nèi)形成第一感光結(jié)構(gòu)，所述第一感光結(jié)構(gòu)包括相對(duì)的第一表面和第二表面，所述第一感光結(jié)構(gòu)包括吸收層，所述吸收層用于吸收紅外光，所述第一感光結(jié)構(gòu)第一表面暴露出吸收層；

在所述半導(dǎo)體襯底相位對(duì)焦區(qū)第二面表面形成第一濾光層，所述第一濾光層通過自然光。