[發明專利]一種壓縮機滑片表面涂層及其制備方法有效
| 申請號： | 201811378429.9 | 申請日： | 2018-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN109338322B | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發明（設計）人： | 莊希平;莊泉;鄭賀;汪愛英;孫麗麗 | 申請（專利權）人： | 寧波甬微集團有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 寧波元為知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人： | 單英 |
| 地址： | 315033 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓縮機 表面 涂層 及其 制備 方法 | ||
1.一種壓縮機滑片表面涂層，其特征是：呈層疊結構，層疊方向自壓縮機滑片表面向上，壓縮機滑片表面為金屬A過渡層，金屬A過渡層表面為梯度過渡層，梯度過渡層表面為交替層；
所述梯度過渡層為金屬A摻雜的類石墨層，并且沿所述層疊方向，金屬A元素含量逐漸減小，碳元素含量逐漸增大；
沿所述層疊方向，所述交替層由金屬A摻雜的類石墨層與類石墨層交替形成；
所述金屬A過渡層厚度為200～350納米；
所述梯度過渡層厚度為300～350納米；
所述交替層厚度為1.2～2.5微米；
所述涂層的總厚度大于2微米；
所述交替層中，一層金屬A摻雜的類石墨層與一層類石墨層作為一個交替周期層，所述交替層由5～10個交替周期層組成；
所述壓縮機滑片的材質為不銹鋼、高速鋼或軸承鋼；所述涂層與壓縮機滑片基體的結合力大于100N。
2.如權利要求1所述的壓縮機滑片表面涂層，其特征是：所述金屬A包括鉻、鎢、鈦中的一種或多種。
3.如權利要求1或2所述的壓縮機滑片表面涂層，其特征是：采用磁控濺射技術，以金屬A靶與石墨靶為濺射靶材，濺射沉積所述的梯度過渡層，沉積過程中，金屬A靶的工作電流逐漸減小，石墨靶的工作電流逐漸增大。
4.如權利要求1或2所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：采用磁控濺射技術，包括如下步驟：
(1)壓縮機滑片為基體，將基體置于真空腔體中，腔體抽真空后通入氬氣；
(2)開啟金屬A靶的濺射電源，濺射沉積金屬A層；
(3)開啟石墨靶與金屬A靶的濺射電源，濺射沉積梯度過渡層，濺射過程中金屬A靶的工作電流逐漸減小至IA，石墨靶的工作電流逐漸增大至IC；
(4)開啟石墨靶和金屬A靶的濺射電源，沉積金屬A摻雜的類石墨層；然后，關閉金屬A靶濺射電源，沉積類石墨層；
(5)重復步驟(4)數次。
5.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(2)中，金屬A靶的工作電流為0.3A～10A，基體負偏壓為50V～300V，沉積時間為5分鐘～30分鐘。
6.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(3)中，石墨靶的工作電流為0.5～8A。
7.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(3)中，金屬A靶的工作電流為10A～0.1A。
8.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(4)中，金屬A摻雜的類石墨層的沉積時間為5分鐘～10分鐘。
9.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(4)中，類石墨層的沉積時間為20分鐘～30分鐘。
10.如權利要求4所述的壓縮機滑片表面涂層的制備方法，其特征是：所述步驟(4)中，金屬A靶的工作電流為IA，石墨靶的工作電流為IC。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于寧波甬微集團有限公司，未經寧波甬微集團有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811378429.9/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
