[發明專利]一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置有效
| 申請號: | 201811376026.0 | 申請日: | 2018-11-19 |
| 公開(公告)號: | CN109545643B | 公開(公告)日: | 2021-05-14 |
| 發明(設計)人: | 李亞偉;陳洪波;張星海;劉凡;范松海;劉軒東 | 申請(專利權)人: | 國網四川省電力公司電力科學研究院 |
| 主分類號: | H01J37/32 | 分類號: | H01J37/32 |
| 代理公司: | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 李英 |
| 地址: | 610000 四川省成*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 體積 蜂巢 電暈 等離子體 均勻 調節 裝置 | ||
1.一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,包括第一平板結構(1),所述第一平板結構(1)端面上設置長度可調節的調節針(2),所述調節針(2)垂直于第一平板結構(1),所述調節針(2)的數量為若干,每根調節針(2)周圍設置電極針(3),所述電極針(3)的數量為六根,所述六根電極針(3)與調節針(2)的距離相等,所述電極針(3)垂直于第一平板結構(1),所述六根電極針(3)組成一個蜂巢單元,每相鄰的兩根調節針(2)共享六根電極針(3)中的兩根,所有的電極針(3)組成蜂巢狀多針電極,所述第一平板結構(1)、蜂巢狀多針電極和調節針(2)組成放電組合電極。
2.根據權利要求1所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,所述第一平板結構(1)為圓形平板結構。
3.根據權利要求2所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,所述電極針(3)為端部倒角的等長等直徑的電暈針。
4.根據權利要求3所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,所述電暈針在第一平板結構(1)上的排列方式為正六邊形排列,通過陣列的方式形成蜂巢狀多針電極。
5.根據權利要求3所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,所述蜂巢狀多針電極的每個蜂巢單元共享2根電暈針,蜂巢狀多針電極整體為正六邊形結構,且關于所述第一平板結構(1)的軸線呈對稱分布。
6.根據權利要求2所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,所述第一平板結構(1)端面上位于正六邊形中心的位置設置可收縮的固定孔,所述固定孔與調節針(2)匹配。
7.根據權利要求2所述的一種大體積蜂巢電暈等離子體3D均勻性調節裝置,其特征在于,還包括第二平板結構(4),所述第二平板結構(4)為圓型平板結構,第二平板結構(4)的直徑大于所述第一平板結構(1),所述第二平板結構(4)的旋轉中心軸與第一平板結構(1)的旋轉中心軸重合。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于國網四川省電力公司電力科學研究院,未經國網四川省電力公司電力科學研究院許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811376026.0/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:用于半導體工藝模塊的原位設備
- 下一篇:一種等離子體源裝置





