[發(fā)明專利]微機械慣性傳感器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811364079.0
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN109798972A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J·萊茵穆特
• 申請（專利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01H11/06
• 分類號: G01H11/06
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.微機械慣性傳感器(100)，具有：

-固定在襯底上的能運動的震動質(zhì)量(20a)，該震動質(zhì)量具有梳狀構(gòu)造的第一電極(20c)；

-固定在所述襯底上的第二電極(20d)，其中，所述電極(20c、20d)這樣構(gòu)造，使得在未施加外部加速度的情況下所述第一電極(20c)與所述第二電極(20d)沿傳感方向的重疊部分(L)限定地小并且小于約35％、優(yōu)選小于約25％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，在關(guān)于所述慣性傳感器(100)的測量范圍的最大負(fù)加速度的情況下所述第一電極(20c)與所述第二電極(20d)沿傳感方向的所述重疊部分(L)是這樣的，使得所述第一電極和所述第二電極的端部區(qū)段限定地小地重疊或相對彼此小于所述第一電極(20c)和所述第二電極(20d)的所述端部區(qū)段之間的間距(d)地間隔開。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，第一電極(20c)和/或所述第二電極(20d)的至少一個區(qū)段不平行于所述傳感方向地構(gòu)造，并且不平行于所述傳感方向構(gòu)造的所述區(qū)段在機械方面不限制所述第一電極(20c)和/或所述第二電極(20d)沿傳感方向的運動。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述第二電極(20d)的至少一部分這樣構(gòu)造，使得所述第二電極(20d)的寬度沿傳感方向在傳感區(qū)域之后構(gòu)造成寬度保持不變或以擴寬的方式構(gòu)造。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述震動質(zhì)量通過彈簧元件附接在所述襯底上，其中，所述彈簧元件這樣構(gòu)造，彈簧剛性沿傳感方向限定地軟地構(gòu)造并且正交于所述傳感方向限定地硬地構(gòu)造。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述第一電極或所述第二電極的至少一部分在基本狀態(tài)中在所述重疊部分(L)的區(qū)域中這樣構(gòu)造，使得當(dāng)所述電極沿傳感方向沉入彼此時，在所述電極(20c、20d)之間的間距在部分區(qū)域中減小。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，所述第一電極或所述第二電極的至少一部分在所述基本狀態(tài)中在所述重疊部分(L)之外的區(qū)域中這樣構(gòu)造，使得當(dāng)所述電極沿傳感方向沉入彼此時，在所述電極(20c、20d)之間的間距在部分區(qū)域中增大。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的微機械慣性傳感器(100)，其特征在于，設(shè)置停止器元件，其中，借助于所述停止器元件能限制所述第二電極(20d)到所述第一電極(20c)中的沉入深度。

9.用于制造微機械慣性傳感器(100)的方法，具有以下步驟：

-提供具有梳狀構(gòu)造的第一電極(20c)的、固定在襯底上的能運動的震動質(zhì)量(20a)；

-提供固定在所述襯底上的第二電極(20d)，其中，所述電極(20c、20d)這樣構(gòu)造，使得在未施加外部加速度的情況下所述第一電極(20c)與所述第二電極(20d)沿傳感方向的重疊部分(L)限定地小并且小于約35％、優(yōu)選小于約25％。