[發(fā)明專利]一種固態(tài)源自動引束的方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811357792.2 | 申請日： | 2018-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN111192808A | 公開（公告）日： | 2020-05-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林萍;肖志強;李莉 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/302 | 分類號： | H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 固態(tài) 源自 動引束 方法 | ||
1.一種固態(tài)源自動引束的方法，包括：開始(1)、坩堝電源溫度初始值(2)、氬氣1.0sccm(3)、坩堝溫度調(diào)節(jié)(4)、坩堝溫度反饋值與設(shè)置值比較是否在允許誤差內(nèi)(5)、氬氣0.2sccm/s下降(6)、setup束流檢測值與目標值是否在一定誤差內(nèi)(7)、結(jié)束(8)。
2.一種固態(tài)源自動引束的方法，其特征在于：首先固態(tài)源放入離子源內(nèi)的坩堝里，坩堝電源給離子源內(nèi)的坩堝加熱，坩堝的溫度持續(xù)上升，通過熱傳導(dǎo)，坩堝里的固態(tài)源溫度也持續(xù)上升，直到固態(tài)源升華成氣態(tài)，變成氣體進入到離子源的弧室中。在啟動固態(tài)源時選定相應(yīng)種類的固態(tài)源，按照固態(tài)源種類不同坩堝電源的溫度初始值(2)也不同，坩堝電源的溫度初始值(2)設(shè)定后，同時送入氬氣1.0sccm(3)充當載體，當坩堝的溫度反饋值與它的設(shè)定值在允許的誤差內(nèi)(5)，氬氣以0.2sccm/s速度下降(6)，直至氬氣關(guān)閉，此時坩堝內(nèi)的固態(tài)源已經(jīng)產(chǎn)生一定量的氣體，并且逐漸增多，坩堝電源溫度繼續(xù)調(diào)節(jié)(4)，setup檢測的束流值在不斷增加，當setup檢測束流值與目標值比較(7)相差較大時，坩堝電源溫度繼續(xù)調(diào)節(jié)(4)，當setup檢測束流值與目標值比較在誤差內(nèi)(7)時，停止坩堝電源溫度調(diào)節(jié)(4)，即可結(jié)束(8)。
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