[發(fā)明專利]一種針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備

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• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN111167764A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設計）人: 夏黎明
• 申請（專利權）人: 深圳市永盛隆科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;B01D36/04
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產(chǎn)權代理有限公司 11662
• 代理人: 孟德棟

本發(fā)明公開了一種針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備，所述清洗設備包括設置在機架上的清洗本體和清洗裝置，所述清洗裝置設于清洗本體內(nèi)。本發(fā)明提供的針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備，通過設置清洗裝置在清洗本體內(nèi)實現(xiàn)清洗，防止了有毒物質(zhì)濺射造成人身傷害和環(huán)境污染。另外，通過本發(fā)明可直接實現(xiàn)污染部件的清洗，無需轉(zhuǎn)移至外部清洗公司，大大降低了清洗周期和清洗成本。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體清洗領域，尤其涉及一種針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備。

背景技術

半導體行業(yè)由于工藝需求，產(chǎn)生的固體或者液體廢物沾滿設備部件內(nèi)部，導致部件性能降低無法繼續(xù)使用。

目前，在實際處理中，為了清洗相應的污染部件，由于清洗設備占用體積較大、污染等原因，導致生產(chǎn)車間需要將部件外送至專門的清洗廠家進行清洗。

如此耗費運輸工時、包裝工時，導致周期過長、成本較高，且生產(chǎn)率下降；而自行清洗廢棄物具有與空氣燃燒的現(xiàn)象，會產(chǎn)生二次污染，易造成人生傷害。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備，以解決現(xiàn)有技術中的問題，對污染部件進行清洗處理，避免人身傷害，降低清洗成本，提高生產(chǎn)效率。

本發(fā)明提供一種針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備，其中，所述清洗設備包括設置在機架上的清洗本體和清洗裝置，所述清洗裝置設于清洗本體內(nèi)。

優(yōu)選地，所述清洗設備還包括傳送裝置，所述傳送裝置包括：

至少一個傳送部，用于傳送所述污染部件；

與所述傳送部配合的傳送軌道，所述傳送部可沿所述傳送軌道將所述污染部件傳送至所述清洗本體內(nèi)；

驅(qū)動機構，與所述傳送部或所述傳送軌道連接，用于驅(qū)動所述傳送部或所述傳送軌道運動。

優(yōu)選地，所述傳送部包括：

轉(zhuǎn)盤，用于裝載所述污染部件；

旋轉(zhuǎn)機構，與所述轉(zhuǎn)盤連接，用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)。

優(yōu)選地，所述清洗裝置包括：

設置在所述清洗本體上方的升降裝置；

在所述升降裝置的升降桿上設置有噴頭，所述升降桿可帶動所述噴頭上下運動，所述噴頭用于清洗所述污染部件的內(nèi)側(cè)。

優(yōu)選地，所述清洗裝置還包括：設置在所述清洗本體內(nèi)側(cè)的多個噴嘴，所述噴嘴用于清洗所述污染部件的外側(cè)。

優(yōu)選地，所述清洗設備還包括油水過濾分離裝置，所述油水過濾分離裝置與清洗裝置連接。

優(yōu)選地，所述油水過濾分離裝置包括與所述清洗本體底部依次連通的油水分離器、粗過濾器和精過濾器。

優(yōu)選地，所述清洗本體為封閉結構，且所述清洗本體上設置有可視窗口和操作孔。

優(yōu)選地，所述清洗本體頂部設置有排霧風機。

優(yōu)選地，所述清洗設備還包括控制箱，所述控制箱分別與所述清洗本體、所述傳送裝置、所述清洗裝置、所述油水過濾分離裝置連接。

本發(fā)明提供的針對含有砷、磷污染物部件的清洗設備，通過設置清洗裝置在清洗本體內(nèi)實現(xiàn)清洗，防止了有毒物質(zhì)濺射造成人身傷害和環(huán)境污染。另外，通過本發(fā)明可直接實現(xiàn)污染部件的清洗，無需轉(zhuǎn)移至外部清洗公司，大大降低了清洗周期和清洗成本。