[發明專利]多層阻變存儲器的溫度分布測試方法

有效

• 申請號: 201811344613.1
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109470377B
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 雷登云;黃云;王力緯;侯波;恩云飛
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所（（工業和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室））
• 主分類號: G01K7/16
• 分類號: G01K7/16;H01L45/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 付建軍

1.一種多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，包括：

S1：獲取阻變存儲器的堆疊層數；

S2：設定目標層的測試順序；

S3：按照測試順序選取目標層；

S4：在目標層上選取多個目標單元構成目標集合；

S5：利用脈沖信號對目標集合內的各目標單元進行初始化，將目標集合內的各目標單元設定為高阻態或者低阻態；

S6：分別記錄目標集合內的各目標單元的初始電阻值；

S7：對阻變存儲器的各層重復步驟S3至S6；

S8：對阻變存儲器的各層進行溫度分布測量，構建各層的溫度分布模型，

其中，步驟S8包括如下步驟，

S81：選定目標層；

S82：選定目標層上的多個目標單元；

S83：將選定的多個目標單元構成目標集合；

S84：對目標集合中各目標單元進行讀寫操作，并獲得目標集合中各目標單元的溫度數據；

S85：將目標集合中各目標單元的溫度數據形成溫度數據集合；

S86：根據溫度數據集合、各目標單元的位置坐標和熱傳導方程構建目標層的溫度分布模型。

2.根據權利要求1所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，步驟S84包括如下步驟：

S841：在目標集合中選取任一目標單元作為測試單元；

S842：根據測試單元的位置生成行選信號和列選信號；

S843：對測試單元進行讀寫，在讀寫過程中獲得測試單元的當前阻值；

S844：根據測試單元的當前阻值和初始阻值的比例關系，獲得當前測試單元的溫度數據；

S845：循環執行步驟S841至S844，直至獲得目標集合中所有目標單元的溫度數據。

3.根據權利要求2所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S841中，以目標層的邊緣單元為起點，按照固定的水平步長或垂直步長選取目標單元。

4.根據權利要求2所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S841中，以目標層的中心單元為起點，按照固定的距離間隔選取目標單元。

5.根據權利要求2所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S841中，以目標層的中心單元點為初始點，按照半徑間隔遞增選取目標單元選取目標單元。

6.根據權利要求2-5中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟842中，通過行選信號和列選信號獲得目標單元在二維平面中的位置坐標。

7.根據權利要求2-5中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟843中，對測試單元進行多次讀寫，獲得測試單元的當前電阻的平均阻值。

8.根據權利要求2-5中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟844中，根據測試單元的當前阻值與初始阻值的比例關系，將測試單元處在初始阻值時的初始溫度換算成讀取時的溫度數據。

9.根據權利要求1-5中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S8中，溫度分布模型為正態分布、F分布、T分布中的任意一種。