[發明專利]用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜組

在審

• 申請號: 201811344578.3
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN109270743A
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 向旭;洪孟逸
• 申請（專利權）人: 成都中電熊貓顯示科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1337
• 分類號: G02F1/1337;G03F1/00;G03F1/54
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 黃溪;劉芳

1.一種用于光配向的掩膜板，包括至少一個掩膜圖形區域，其特征在于，每個所述掩膜圖形區域包括非連續部和位于所述非連續部兩側的連續部，所述連續部用于和其它掩膜板上的掩膜圖形區域的連續部接續，所述連續部包括多個透光部和多個不透光部，所述透光部和所述不透光部沿所述掩膜板的橫向交替排列；

每個所述連續部中的所述透光部和與所述連續部接續的其他掩膜板的連續部的不透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合，且所述不透光部和與所述連續部接續的其他掩膜板的連續部的透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合。

2.根據權利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每個所述連續部的多個所述透光部和多個所述不透光部均呈等間距排列。

3.根據權利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每個所述連續部的多個所述透光部中，每相鄰兩根所述透光部之間的間距不相等，且每相鄰兩根所述不透光部之間的間距不相等。

4.根據權利要求3所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每個所述連續部的多個所述透光部中，每個所述透光部的寬度從靠近所述非連續部的一側朝向遠離所述非連續部的一側逐漸變窄；和/或，

每個所述連續部的多個所述不透光部中，每個所述不透光部的寬度從靠近所述非連續部的一側朝向遠離所述非連續部的一側逐漸變寬。

5.根據權利要求4所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每個所述連續部的多個所述透光部中，每相鄰兩個所述透光部的寬度的減少量均相等。

6.根據權利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，所述透光部和所述不透光部均為沿所述掩膜板的縱向延伸的條紋。

7.根據權利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，每個所述掩膜圖形區域所包括的位于所述非連續部兩側的連續部相對于所述掩膜圖形區域的縱向軸線呈軸對稱圖形。

8.根據權利要求1所述的用于光配向的掩膜板，其特征在于，所述掩膜圖形區域為至少兩個，所有所述掩膜圖形區域大小和形狀均相同，且所述至少兩個掩膜圖形區域在所述掩膜板的縱向上的投影彼此對齊并形成一列。

9.一種用于光配向的掩膜組，其特征在于，包括至少兩個如權利要求1至8任一項所述的掩膜板，相鄰兩個所述掩膜板在所述掩膜板的縱向上的位置彼此錯開，相鄰兩個所述掩膜板的相互接續的連續部的透光部在所述掩膜板的縱向上的投影彼此互補，并能夠拼合為一個連續的整體。

10.根據權利要求9所述的用于光配向的掩膜組，其特征在于，單個所述掩膜板的連續部在所述掩膜板的縱向上的投影形成軸對稱圖形。