[發明專利]鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備及監測方法

在審

• 申請號: 201811343768.3
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN111180595A
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 杭州纖納光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;H01L21/66
• 代理公司: 浙江一墨律師事務所 33252
• 代理人: 陳紅珊

1.一種鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備，其特征在于，包括X射線光電子能譜分析系統、電子學系統以及分析統計系統，所述X射線光電子能譜分析系統的X射線光電子能譜數據經過電子學系統傳輸至分析統計系統，所述X射線光電子能譜分析系統包括X射線源、電子透鏡以及電子能量分析器，在所述電子能量分析器內設置電子探測器，所述X射線源以及電子透鏡分別設置在真空密封艙的兩側部，在所述真空密封艙內設置有加熱鈣鈦礦太陽能電池基片的加熱臺，以及被蒸發控制系統控制的蒸發源，所述X射線源發射的X射線照射到鈣鈦礦太陽能電池基片表面產生光生電子，所述光生電子經電子透鏡接收并傳輸至電子探測器，所述電子探測器將探測到的光電子信號經過電子學系統傳輸至分析統計系統，所述分析統計系統的分析數據反饋至蒸發控制系統。

2.如權利要求1所述的鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備，其特征在于，所述X射線光電子能譜分析系統的測試次數與時間間隔由分析統計系統設置。

3.一種如權利要求1或2所述的鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備的監測方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、所述鈣鈦礦太陽能電池基片放置在真空密封艙內，開啟真空密封艙內的蒸發源對鈣鈦礦太陽能電池基片進行化學物質蒸鍍加工；

S2、開啟所述X射線光電子能譜分析系統、電子學系統以及分析統計系統，所述X射線源發出的X射線通過照射到鈣鈦礦太陽能電池基片表面產生光生電子，所述光生電子經電子透鏡傳輸至電子能量分析器被其中的電子探測器接收，接收到的電子信號傳輸至電子學系統分析，再通過分析統計系統反饋于蒸發控制系統，從而通過所述蒸發控制系統調節蒸鍍參數，控制鈣鈦礦薄膜反應進程；

S3、所述鈣鈦礦太陽能電池基片蒸鍍加工完成后，經傳送帶或其他方式從真空密封艙內取出。

4.如權利要求3所述的鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備的監測方法，其特征在于，在步驟S2的反應過程中，所述X射線光電子能譜分析系統的測試次數與時間間隔由分析統計系統設置。