[發明專利]高速傳感共焦顯微測量方法

有效

• 申請號: 201811343690.5
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN109307481B
• 公開（公告）日: 2020-02-04
• 發明（設計）人: 趙維謙;孫迎賓;邱麗榮;王允
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 11639 北京理工正陽知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 鄔曉楠

1.高速傳感共焦顯微測量方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟一、確定共焦軸向強度響應數值(14)的最大值M，并以M為界將共焦軸向強度響應數值(14)分割為左側邊數據組(15)和右側邊數據組(16)；

步驟二、保持右側邊數據組(16)不動，使左側邊數據組(15)沿橫向坐標平移S得到左側邊右移數據組(17)，左側邊右移數據組(17)和右側邊數據組(16)交匯；

步驟三、對右側邊數據組(16)和左側邊右移數據組(17)分別進行相同橫坐標點的插值處理，將插值處理后的兩組數據中橫坐標相同的兩數據點相減再除以其相加值，從而得到左側邊右移相減除以相加數據組(18)；

步驟四、取左側邊右移相減除以相加數據組(18)中零值附近且對軸向位移變化靈敏的數據段進行多項式擬合，得到左側邊右移傳感特性曲線(19)和左側邊右移傳感特性方程z_L(I)＝a_mI^m+a_m-1I^m-¹+…+a₂I²+a₁I+a₀，將方程z_L(I)的常數項a₀替換為S/2，最終得到z_L(I)＝a_mI^m+a_m-1I^m-¹+…+a₂I²+a₁I+S/2；

步驟五、以平移量S為軸向掃描間隔對被測樣品軸向掃描，獲取軸向掃描數據中光強最大值點I₂₃(23)和軸向掃描數據中光強次大值點I₂₄(24)；

步驟六、比較軸向掃描數據中光強最大值點I₂₃(23)和軸向掃描數據中光強次大值點I₂₄(24)各自對應的軸向位置，當I₂₄對應的軸向位置大于I₂₃對應的軸向位置時，將I₂₅＝(I₂₃-I₂₄)/(I₂₃+I₂₄)代入左側邊右移傳感特性方程,計算得到h＝z_L(I₂₅)；當I₂₃對應的軸向位置大于I₂₄對應的軸向位置時，將I₂₅＝(I₂₄-I₂₃)/(I₂₄+I₂₃)代入左側邊右移傳感特性方程,計算得到h＝z_L(I₂₅)；

步驟七、比較軸向掃描數據中光強最大值點I₂₃(23)和軸向掃描數據中光強次大值點I₂₄(24)各自對應的軸向位置，利用兩軸向位置中較大的位置減去步驟六得到的h從而獲得共焦測量系統焦點的精確位置f。