[發明專利]多層阻變存儲器的溫度分布測試方法

有效

• 申請號: 201811342284.7
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109493912B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 雷登云;黃云;王力緯;侯波;恩云飛
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所（（工業和信息化部電子第五研究所）（中國賽寶實驗室））
• 主分類號: G11C29/50
• 分類號: G11C29/50
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所 11323
• 代理人: 付建軍

1.一種多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，包括：

S1：選定目標層；

S2：選定目標層上的多個目標單元；

S3：將選定的多個目標單元構成目標集合；

S4：對目標集合中的各目標單元進行N次讀寫，其中N＞1，并對各目標單元的高阻態阻值和低阻態阻值進行測量，得到各目標單元的高阻態阻值集合和低阻態阻值集合；

S5：根據各目標單元的高阻態阻值集合和低阻態阻值集合分別計算出各目標單元的高阻態阻值的分布參數和低阻態阻值的分布參數；

S6：根據各目標單元的高阻態阻值的分布參數和低阻態阻值的分布參數，獲得各目標單元所對應的溫度數據，并將各目標單元的溫度數據形成溫度數據集合；

S7：根據溫度數據集合、各目標單元的位置坐標和熱傳導方程構建目標層的溫度分布模型。

2.根據權利要求1所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S2中，以目標層的邊緣單元為起點，按照固定的水平步長或垂直步長選取目標單元。

3.根據權利要求1所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在步驟S2中，以目標層的中心單元為起點，按照固定的距離間隔選取目標單元。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，步驟S4包括如下步驟：

S401：在目標集合中選取任一目標單元作為測試單元；

S402：根據測試單元的位置生成行選信號和列選信號；

S403：對測試單元進行單次讀寫，測量并記錄測試單元進行單次讀寫時的高阻態阻值和低阻態阻值；

S404：對測試單元執行N次步驟S403的操作，將N個高阻態阻值形成高阻態阻值集合，將N個低阻態阻值形成低阻態阻值集合；

S405：循環執行步驟S401至S404，直至得到目標集合中各目標單元的高阻態阻值集合和低阻態阻值集合。

5.根據權利要求4所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，通過行選信號和列選信號獲得目標單元在二維平面中的位置坐標。

6.根據權利要求4所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在對目標單元進行單次讀寫和測量時，通過目標單元由初始高阻態向低阻態轉變的過程中電壓和電流來計算低阻態阻值，并記錄低阻態阻值。

7.根據權利要求4所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在對目標單元進行單次讀寫和測量時，通過目標單元由初始低阻態向高阻態轉變的過程中電壓和電流來計算高阻態阻值，并記錄高阻態阻值。

8.根據權利要求1-3中任一項所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，步驟S4包括如下步驟：

S411：對目標集合中的目標單元進行排序，確定測試順序；

S412：按照測試順序將其中一個目標單元作為測試單元；

S413：根據測試單元的位置生成行選信號和列選信號；

S414：對測試單元進行單次讀寫，測量并記錄測試單元進行單次讀寫時的高阻態阻值和低阻態阻值；

S415：循環步驟S412至S414，直至完成目標集合中各目標單元的高阻態阻值和低阻態阻值的測量和記錄；

S416：進行N次步驟S414至S415的操作，獲得各目標單元的N個高阻態阻值和N個低阻態阻值，從而得到各目標單元的高阻態阻值集合和低阻態阻值集合。

9.根據權利要求8所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，通過行選信號和列選信號獲得目標單元在二維平面中的位置坐標。

10.根據權利要求8所述的多層阻變存儲器的溫度分布測試方法，其特征在于，在對目標單元進行單次讀寫和測量時，通過目標單元由初始高阻態向低阻態轉變的過程中電壓和電流來計算低阻態阻值，并記錄低阻態阻值。