[發(fā)明專(zhuān)利]堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811341971.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109449146A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁靜秋;王惟彪;李陽(yáng);陶金;秦余欣;梁中翥;孟德佳;呂金光;王家先;趙永周
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L25/075
• 分類(lèi)號(hào): H01L25/075;H01L33/48
• 代理公司: 長(zhǎng)春眾邦菁華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 22214
• 代理人: 李外

1.一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，該方法包括：

步驟一：在第一基底上放置多個(gè)LED元件，所述多個(gè)LED元件中的每個(gè)LED元件都具有三種原色中的同一種原色；

步驟二：將所述的同一原色的多個(gè)LED元件中的一個(gè)或多個(gè)LED元件從第一基底上轉(zhuǎn)移至第二基底；

步驟三：對(duì)于三種原色中剩余原色之每一種原色的LED元件都實(shí)施至少一次步驟一和步驟二的步驟；三種原色的LED元件在第二基底上堆疊放置，直到三種原色的LED元件構(gòu)成微型RGB LED單元陣列，其中所述微型RGB LED單元陣列的每一個(gè)微型RGB LED單元都包括一個(gè)紅色LED元件、一個(gè)綠色LED元件和一個(gè)藍(lán)色LED元件；

步驟四：將第三基底放置到微型RGB LED單元陣列的表面上，得到堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述的第一基底是藍(lán)膜、UV膜或溫控膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述第一基底是GaAs基底、藍(lán)寶石基底或硅基底。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，步驟二具體包括：

1)利用轉(zhuǎn)移裝置或激光剝離的方法從所述第一基底上拾起或剝離所述同一原色的多個(gè)LED元件中的一個(gè)或多個(gè)LED元件；

2)將從第一基底上拾起或剝離的所述同一原色的多個(gè)LED元件中的一個(gè)或多個(gè)LED元件放置到第二基底的相應(yīng)位置；

3)將從所述第一基底上拾起或剝離的所述同一原色的多個(gè)LED元件中的一個(gè)或多個(gè)LED元件固定到第二基底的相應(yīng)位置；

4)重復(fù)實(shí)施以上步驟1)、2)和3)，直到得到所述的微型RGB LED單元陣列。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述的轉(zhuǎn)移裝置為利用真空吸附、磁性吸附、靜電吸附、膠黏劑或范德華力來(lái)拾起所述微型LED元件的裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述的激光剝離方法是利用激光照射所述第一基底，用于將所述同一原色的多個(gè)LED元件中的一個(gè)或多個(gè)LED元件從所述第一基底上分離。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述的第二基底為硅基底或玻璃基底。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述微型RGB LED單元陣列的每一個(gè)RGB LED單元的間距小于等于100μm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述的步驟三中還包括成型步驟，所述成型步驟利用光刻蝕刻工藝將所述微型RGB單元陣列的紅色微型LED元件、綠色微型LED元件和藍(lán)色微型LED元件堆疊放置。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種堆疊結(jié)構(gòu)微型LED顯示器的制備方法，其特征在于，所述微型RGB單元陣列的每一個(gè)RGB LED單元在垂直方向上為紅色微型LED元件、綠色微型LED元件和藍(lán)色微型LED元件各一層或者紅色微型LED元件一層、綠色微型LED元件和藍(lán)色微型LED元件共一層。