[發明專利]一種面發射激光器、面發射激光器陣列及光學掃描裝置在審
| 申請號： | 201811340019.5 | 申請日： | 2018-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN109167255A | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發明（設計）人： | 佟存柱;陸寰宇;田思聰;汪麗杰;舒世立;張新;王立軍 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 130033 吉林省長春市*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光子晶體 面發射激光器 孔洞 布拉格反射鏡 光學掃描裝置 光子晶體區域 耦合反饋 刻蝕 面發射激光陣列 外延生長工藝 反饋 諧振 激光頻率 刻蝕周期 三角晶格 諧振方向 制備過程 高功率 面發射 單模 簡并 鍵合 匹配 輸出 | ||
1.一種面發射激光器，其特征在于，所述面發射激光器包括光子晶體區域，所述光子晶體區域包括具有孔洞的光子晶體，所述孔洞的刻蝕周期、刻蝕深度及刻蝕半徑滿足產生的激光頻率位于所述光子晶體能帶中簡并的Γ2位置；
所述光子晶體為三角晶格構成的矩形光子晶體；
所述光子晶體內部的光子晶體腔及反饋區形成的耦合反饋腔，產生諧振的方向相同。
2.如權利要求1所述的面發射激光器，其特征在于，所述孔洞為圓孔。
3.如權利要求1所述的面發射激光器，其特征在于，所述光子晶體區域包括多個光子晶體。
4.如權利要求3所述的面發射激光器，其特征在于，所述面發射激光器的出光區域的數量與所述光子晶體的數量相同。
5.如權利要求4所述的面發射激光器，其特征在于，所述出光區域的形狀與所述光子晶體的俯視形狀相同。
6.如權利要求5所述的面發射激光器，其特征在于，所述出光區域位于所述光子晶體正上方并與所述光子晶體一一對應。
7.如權利要求1所述的面發射激光器，其特征在于，所述面發射激光器的電極注入區的電極，可以為共面電極或上下電極。
8.如權利要求1所述的面發射激光器，其特征在于，所述面發射激光器的反饋區還包括高反射介質膜、光子晶體反射鏡、布拉格反射鏡或外置高反射鏡中的至少一個。
9.一種面發射激光器陣列，其特征在于，所述面發射激光器陣列包括多個如權利要求1至8任一項所述的面發射激光器。
10.一種光學掃描裝置，其特征在于，包括：
光源單元，用于發射光束，所述光源單元包括如權利要求9所述的面發射激光器陣列；
偏轉單元，用于偏轉來自所述光源單元的光束；
掃描光學單元，用于將片狀后的光束匯聚于待掃描物體的表面。
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