[發明專利]運動平臺及其工作方法、檢測設備及檢測方法

有效

• 申請號: 201811338393.1
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109613024B
• 公開（公告）日: 2021-04-27
• 發明（設計）人: 陳魯;龐芝亮;黃有為
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/958
• 分類號: G01N21/958
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 張全文

本發明屬于半導體處理設備技術領域，尤其涉及一種運動平臺及其工作方法、檢測設備及檢測方法，運動平臺包括：底座；設置于所述底座的第一旋轉機構，包括第一旋轉臺和第一驅動組件；設置在所述第一旋轉臺上的第二旋轉機構，用于繞第二旋轉軸旋轉；設置在所述第一旋轉臺上的第一卡盤；第二卡盤，固定于所述第一旋轉臺外露于所述第一卡盤的一側，所述第二旋轉機構用于驅動所述第二卡盤繞所述第二旋轉軸旋轉，所述第一卡盤的頂面與所述第二卡盤的頂面齊平。本發明的運動平臺，由于第一旋轉機構和第二旋轉機構采用層疊設計，能保證對兩個半片基板進行旋轉的獨立性，也能完成一個半片基板或對整片基板的旋轉，適用性大大提高。

技術領域

本發明屬于半導體處理設備技術領域，尤其涉及一種運動平臺及其工作方法、檢測設備及檢測方法。

背景技術

在工業加工的過程中，常需要對成品進行檢測或對半成品進一步加工，需要使用具有旋轉功能的運動平臺進行支撐，例如在OLED玻璃基板的檢測與加工的過程就常使用這些運動平臺。隨著技術的發展，基板的工藝越來越優化，檢測的方式也多種多樣；在傳統的基板檢測領域，如對OLED玻璃基板的缺陷檢測，一臺檢測設備中的運動平臺大多只能滿足同一代整片基板下的運動檢測，不能滿足同一代基板2個半片的檢測，單臺檢測設備的功能較為單一，需要檢測兩個半片基板時要購置另外的檢測設備，使得檢測成本較大。

發明內容

本發明的目的在于提供一種運動平臺，旨在解決現有技術中的運動平臺適用性較小的技術問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：一種運動平臺，包括：

底座；

設置于所述底座的第一旋轉機構，包括第一旋轉臺和用于驅動所述第一旋轉臺繞第一旋轉軸旋轉的第一驅動組件；

設置在所述第一旋轉臺上的第二旋轉機構，用于繞第二旋轉軸旋轉，所述第二旋轉軸與所述第一旋轉軸平行；

設置在所述第一旋轉臺上的第一卡盤，所述第一旋轉臺的一側外露于所述第一卡盤；

第二卡盤，固定于所述第一旋轉臺外露于所述第一卡盤的一側，所述第二旋轉機構用于驅動所述第二卡盤繞所述第二旋轉軸旋轉，所述第一卡盤的頂面與所述第二卡盤的頂面齊平。

進一步地，所述底座設置有第一直線滑軌，所述第一旋轉機構與所述第一直線滑軌滑動連接。

進一步地，所述第一旋轉機構還包括設置于所述底座和所述第一旋轉臺之間的承載板，所述第一驅動組件包括設置于所述承載板的第一驅動源，所述承載板與所述第一旋轉臺之間設有第一弧形滑軌組件，所述第一旋轉臺與所述第一弧形滑軌組件滑動連接，所述第一驅動源用于驅動所述第一旋轉臺沿所述第一弧形滑軌組件滑動，進而帶動所述第一卡盤和所述第二卡盤繞所述第一旋轉軸旋轉。

進一步地，所述第二旋轉機構包括設置在所述第一旋轉臺的第二驅動源，所述第二卡盤底面連接固定有第二旋轉臺，所述第二旋轉臺與所述第一旋轉臺之間設有第二弧形滑軌組件，所述第二旋轉臺與所述第二弧形滑軌組件滑動連接，所述第二驅動源用于驅動所述第二旋轉臺沿所述第二弧形滑軌組件滑動，進而帶動所述第二卡盤繞所述第二旋轉軸旋轉。

進一步地，所述運動平臺還包括多個第一輔助支撐機構和/或多個第二輔助支撐機構，所述第一輔助支撐機構設置于所述承載板與所述第一旋轉臺之間，第一輔助支撐機構用于支撐所述第一旋轉臺并用于使所述第一旋轉臺繞所述第一旋轉軸旋轉，所述第二輔助支撐機構設置于所述第一旋轉臺與所述第二旋轉臺之間，第二輔助支撐機構用于支撐所述第二旋轉臺并用于使所述第二旋轉臺繞所述第二旋轉軸旋轉。

進一步地，所述第一輔助支撐機構包括固定于所述承載板上的第二直線滑軌、滑動連接于所述第二直線滑軌的第一滑板和設置在所述第一滑板上的第三直線滑軌，所述第三直線滑軌與所述第二直線滑軌的延伸方向不相同，所述第一旋轉臺與所述第三直線滑軌滑動連接；