[發明專利]一種金屬表面局部區域精確腐蝕的方法

在審

• 申請號: 201811336737.5
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN109208001A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 路超;陳丕恒;廖益傳;楊振飛;史鵬;法濤
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院材料研究所
• 主分類號: C23F1/02
• 分類號: C23F1/02;C25F3/14
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 呂玲

1.一種金屬表面局部區域精確腐蝕的方法，其特征在于包括以下步驟：樣品鑲樣后，將待腐蝕面研磨拋光，進行耐腐蝕掩膜處理，除去拋光面掩膜位置的局部掩膜區域，露出金屬面的局部區域，采用自然腐蝕或加速腐蝕方法腐蝕露出的金屬局部區域，去掉所有掩膜就得到局部腐蝕樣品。

2.根據權利要求1所述的一種金屬表面局部區域精確腐蝕的方法，其特征在于：該方法包括以下具體步驟：

1）將金屬樣品鑲樣，鑲樣材料為耐酸堿腐蝕的環氧樹脂；

2）將鑲樣后的樣品的某一面作為待腐蝕面進行研磨拋光，目的是露出金屬光潔表面；

3）對露出的金屬光潔表面進行掩膜處理，所做掩膜應耐酸堿腐蝕，所做掩膜應完全遮蓋步驟2）所露出的光潔表面，光潔表面與掩膜接觸良好，光潔表面與掩膜之間應無氣泡或氣孔；

4）在步驟3）的掩膜表面挖孔并露出金屬表面的局部區域，孔為點、線或面，孔的數量、大小、形狀、位置根據需要任意選定；

5）采用自然腐蝕或電化學加速腐蝕方法腐蝕步驟4）露出的金屬局部區域。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的一種局部腐蝕樣品的制備，其特征在于：所述腐蝕為氫化腐蝕，氧化腐蝕或氫氧綜合腐蝕。

4.根據權利要求3所述的一種局部腐蝕樣品的制備，其特征在于：所述腐蝕介質為是酸、堿或鹽。

5.根據權利要求3所述的一種局部腐蝕樣品的制備，其特征在于：所述腐蝕在溶液環境或在氣氛環境中。

6.根據權利要求3所述的一種局部腐蝕樣品的制備，其特征在于：所述局部腐蝕的形狀為任意形狀。