[發(fā)明專(zhuān)利]連續(xù)式多工位拋光機(jī)真空管路自清洗控制系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811335005.4
• 申請(qǐng)日: 2018-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109249309A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊佳葳;周斌;李壯志;王青
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 宇晶機(jī)器（長(zhǎng)沙）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B29/00
• 分類(lèi)號(hào): B24B29/00;B24B51/00
• 代理公司: 長(zhǎng)沙明新專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 43222
• 代理人: 徐新

連續(xù)式多工位拋光機(jī)真空管路自清洗控制系統(tǒng)，包括真空儲(chǔ)氣罐、氣動(dòng)三通球閥Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅰ、氣動(dòng)三通球閥Ⅱ、氣動(dòng)三通球閥Ⅲ、拋光盤(pán)Ⅰ、拋光盤(pán)Ⅱ和可編程控制器；真空儲(chǔ)氣罐與氣動(dòng)三通球閥Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅰ相連，氣動(dòng)三通球閥Ⅱ、氣動(dòng)三通球閥Ⅲ設(shè)在與真空儲(chǔ)氣罐相連的總真空管路上，總真空管路分別通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅳ和氣壓力傳感器Ⅱ的真空管路Ⅰ與拋光盤(pán)Ⅰ相連、通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅴ和氣壓力傳感器Ⅲ的真空管路Ⅱ與拋光盤(pán)Ⅱ相連；可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅰ與氣動(dòng)三通球閥Ⅲ相連、通過(guò)電磁閥Ⅱ與氣動(dòng)三通球閥Ⅱ相連。利用本發(fā)明，可判斷每個(gè)工位的真空管路是否堵塞，以及實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清洗真空管路，有利于多工位拋光機(jī)的發(fā)展。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種連續(xù)式多工位拋光機(jī)，具體涉及一種連續(xù)式多工位拋光機(jī)真空管路自清洗控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前的拋光吸附都是通過(guò)真空泵抽氣，使產(chǎn)品與載盤(pán)之間產(chǎn)生負(fù)壓，在拋光過(guò)程中拋光液通過(guò)真空管路，長(zhǎng)時(shí)間使用容易造成管路堵塞，一旦管路堵塞，需及時(shí)清理或者更換，這樣，不僅造成材料浪費(fèi)，而且操作也相當(dāng)麻煩。尤其是，多工位拋光機(jī)的發(fā)展趨勢(shì)使得真空管路越來(lái)越復(fù)雜，給排查管路堵塞位置帶來(lái)了一定的困難。

目前，對(duì)于連續(xù)式多工位拋光機(jī)復(fù)雜的真空管路，還未見(jiàn)有關(guān)監(jiān)測(cè)真空管路堵塞位置，并能自動(dòng)清洗真空管路的控制系統(tǒng)的研究和報(bào)道。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種能監(jiān)測(cè)真空管路的堵塞位置，報(bào)警并停機(jī)自動(dòng)清洗的連續(xù)式多工位拋光機(jī)真空管路自清洗控制系統(tǒng)。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：連續(xù)式多工位拋光機(jī)真空管路自清洗控制系統(tǒng)，包括真空儲(chǔ)氣罐、氣動(dòng)三通球閥Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅰ、氣動(dòng)三通球閥Ⅱ、氣動(dòng)三通球閥Ⅲ、拋光盤(pán)Ⅰ、拋光盤(pán)Ⅱ和可編程控制器；

所述真空儲(chǔ)氣罐分別與氣動(dòng)三通球閥Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅰ相連，所述氣動(dòng)三通球閥Ⅱ、氣動(dòng)三通球閥Ⅲ設(shè)在與真空儲(chǔ)氣罐相連的總真空管路上，所述總真空管路分別通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅳ和氣壓力傳感器Ⅱ的真空管路Ⅰ與拋光盤(pán)Ⅰ相連、通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅴ和氣壓力傳感器Ⅲ的真空管路Ⅱ與拋光盤(pán)Ⅱ相連；所述氣動(dòng)三通球閥Ⅰ通過(guò)電磁閥與可編程控制器相連接；

所述可編程控制器分別與氣壓力傳感器Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅱ、氣壓力傳感器Ⅲ相連接；

所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅰ與氣動(dòng)三通球閥Ⅲ相連，所述電磁閥Ⅰ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅲ，使總真空管路切換到和清洗水源接口接通；

所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅱ與氣動(dòng)三通球閥Ⅱ相連接，所述電磁閥Ⅱ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅱ，使總真空管路切換到和壓縮空氣接口接通

所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅲ與氣動(dòng)三通球閥Ⅳ相連，所述電磁閥Ⅲ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅳ，使真空管路Ⅰ接通；

所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅳ與氣動(dòng)三通球閥Ⅴ相連接，所述電磁閥Ⅳ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅴ，使真空管路Ⅱ接通。

進(jìn)一步，還設(shè)有拋光盤(pán)Ⅲ，所述總真空管路通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅵ和氣壓力傳感器Ⅳ的真空管路Ⅲ與拋光盤(pán)Ⅲ相連，所述可編程控制器與氣壓力傳感器Ⅳ與相連；所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅴ與氣動(dòng)三通球閥Ⅵ相連，所述電磁閥Ⅴ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅵ，使真空管路Ⅲ接通。

進(jìn)一步，還設(shè)有拋光盤(pán)Ⅳ，所述總真空管路通過(guò)設(shè)有氣動(dòng)三通球閥Ⅶ和氣壓力傳感器Ⅴ的真空管路Ⅳ與拋光盤(pán)Ⅳ相連，所述可編程控制器與氣壓力傳感器Ⅴ相連；所述可編程控制器通過(guò)電磁閥Ⅵ與氣動(dòng)三通球閥Ⅶ相連接，所述電磁閥Ⅵ可控制氣動(dòng)三通球閥Ⅶ，使真空管路Ⅳ接通。

進(jìn)一步，還設(shè)有氣動(dòng)二通球閥，所述真空儲(chǔ)氣罐的底部通過(guò)管路與氣動(dòng)二通球閥相連，所述氣動(dòng)二通球閥與可編程控制器相連接。

進(jìn)一步，所述真空儲(chǔ)氣罐的頂部通過(guò)管路分別與氣動(dòng)三通球閥Ⅰ、氣壓力傳感器Ⅰ相連，。