[發明專利]一種抗氧化的銅基鍵合絲及其制備方法

在審

• 申請號: 201811332474.0
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN109473413A
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 王娟;曹凱;劉實;瞿曉春;陳洲;劉新寬;陳小紅
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;B22D11/00;C21D9/52;C22C9/04;C22F1/08
• 代理公司: 上海邦德專利代理事務所(普通合伙) 31312
• 代理人: 袁步蘭

1.一種抗氧化的銅基鍵合絲，其特征在于，包括以下組分：鋯、鋅、稀土及銅；其中，上述組分含量按照以下重量比：鋯0.0008％～0.0025％，鋅0.001％～0.015％，稀土0.0002％～0.0010％，余量為銅。

2.根據權利要求1所述的抗氧化的銅基鍵合絲，其特征在于，所述銅的純度≥99.996，鋯的純度>99.9％。

3.根據權利要求1所述的抗氧化的銅基鍵合絲，其特征在于，所述稀土為混合稀土。

4.根據權利要求1所述的抗氧化的銅基鍵合絲，其特征在于，所述銅基鍵合絲為單晶結構。

5.一種抗氧化的銅基鍵合絲的制備方法，用于制備如權利要求1～4之任一項所述的抗氧化的銅基鍵合絲，其特征在于，包括以下步驟：

1)制備銅合金鑄錠；

按照質量百分比將鋯、鋅、稀土及銅混合后放入石墨坩堝中，在惰性氣體保護條件下使用感應電爐熔化，獲取銅合金鑄錠；

2)制備鑄態單晶母線；

將銅合金鑄錠放置于連鑄室，加入氮氣保護，進行中頻感應加熱，待完全熔化、精煉和除氣后，將熔液注入連鑄室中間的儲液池保溫，在維持2L/min～5L/min氮氣流量的連鑄室中，完成對銅合金熔液的水平單晶連鑄，獲取銅合金鑄態單晶母線；

3)粗拔；

將銅合金鑄態單晶母線經多道模拉拔工序，拉拔獲取銅合金單晶絲；

4)熱處理；

將銅合金單晶絲置于退火爐中進行退火處理；其中，熱處理溫度420℃～480℃，保溫時間20min～30min；

5)精拔；

將銅合金單晶絲經多道次過模拉拔工序，拉拔成不同的規格的銅基鍵合絲；

6)表面清洗；

將銅基鍵合絲先用酸液清洗，然后依次經超聲波清洗及純水清洗，烘干；

7)分卷及包裝；

將銅基鍵合絲單卷定尺后進行真空包裝；其中，單卷定尺控制張力5g～30g，繞絲速度為500rpm～750rpm。

6.根據權利要求5所述的抗氧化的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，

在步驟2)中，銅合金鑄態單晶母線的直徑范圍7.9mm～8.1mm，縱向晶粒數和橫向晶粒的數量均為1。

7.根據權利要求5所述的抗氧化的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，在步驟3)中，模具延伸率為5％～12％，拉伸速度為515m/s～15m/s。

8.根據權利要求5所述的抗氧化的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，在步驟4)中，退火處理過程中，進一步通入氮氣。

9.根據權利要求5所述的抗氧化的銅基鍵合絲的制備方法，其特征在于，在步驟5)中，所述銅基鍵合絲的長度范圍0.013mm～0.028mm。