[發(fā)明專利]基板裂片裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811331605.3 | 申請日: | 2018-11-09 |
| 公開(公告)號: | CN109336376B | 公開(公告)日: | 2020-04-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王偉;曹河江 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | C03B33/033 | 分類號: | C03B33/033 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黃威 |
| 地址: | 518132 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 裂片 裝置 | ||
1.一種基板裂片裝置,其特征在于,包括:
載物臺,用于承載多個基板,每一所述基板包括本體和殘材;以及
裂片結(jié)構(gòu),包括多個墊片構(gòu)件、連接構(gòu)件以及驅(qū)動構(gòu)件;
其中所述連接構(gòu)件連接所述墊片構(gòu)件和所述驅(qū)動構(gòu)件,所述驅(qū)動構(gòu)件用于驅(qū)動所述墊片構(gòu)件向所述殘材施加多點壓力,使所述殘材自所述本體斷開,所述墊片構(gòu)件包括多個墊片及連接所述墊片的多個柱體,所述墊片是多個圓柱形墊片,所述柱體是多個長條形柱體,所述圓柱形墊片間隔設(shè)置,以及所述長條形柱體間隔設(shè)置,相鄰二圓柱形墊片之間的間距小于相鄰二長條形柱體之間的間距。
2.如權(quán)利要求1所述的基板裂片裝置,其特征在于,所述墊片構(gòu)件間隔設(shè)置在所述載物臺和所述連接構(gòu)件之間。
3.如權(quán)利要1所述的基板裂片裝置,其特征在于,所述驅(qū)動構(gòu)件用于通過所述連接構(gòu)件而驅(qū)動所述墊片構(gòu)件向所述殘材施加向下的多點壓力。
4.如權(quán)利要求1所述的基板裂片裝置,其特征在于,還包括可伸縮構(gòu)件,其中所述可伸縮構(gòu)件連接所述連接構(gòu)件和所述驅(qū)動構(gòu)件。
5.如權(quán)利要求1所述的基板裂片裝置,其特征在于,每一所述柱體設(shè)置于對應(yīng)的墊片上及自所述對應(yīng)的墊片向外延伸,所述連接構(gòu)件設(shè)置于所述柱體上。
6.如權(quán)利要求1所述的基板裂片裝置,其特征在于,所述載物臺用于承載所述基板的所述本體。
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