[發明專利]微機械Z慣性傳感器及其制造方法在審
| 申請號： | 201811330025.2 | 申請日： | 2018-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN109761184A | 公開（公告）日： | 2019-05-17 |
| 發明（設計）人： | R·博森德費爾;J·瓦爾德曼;J·萊茵穆特 | 申請（專利權）人： | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C1/00;B81B7/02;G01P15/125;G01P15/18;G01P15/097 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國斯*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機械 慣性傳感器 扭轉彈簧 彈簧裝置 偏轉 功能層 正交 制造 敏感 | ||
1.微機械Z慣性傳感器(100)，具有：
-構造在微機械功能層(20)中的能運動的MEMS結構(21)；
-與能運動的所述MEMS結構(21)連接的扭轉彈簧(22)；和
-與所述扭轉彈簧(22)連接的彈簧裝置(23,24)，其中，所述彈簧裝置(23,24)構造成用于限定地阻止所述扭轉彈簧(22)正交于所述MEMS結構(21)的敏感方向地偏轉。
2.根據權利要求1所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)的高度約為所述扭轉彈簧(22)的高度的三分之一、更優選地約為十分之一。
3.根據權利要求1或2所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)固定在襯底(10)上。
4.根據上述權利要求中任一項所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)至少部分地布置在能運動的所述MEMS結構(21)下方。
5.根據上述權利要求中任一項所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)構造在構造于襯底(10)與所述微機械功能層(20)之間的層(12)中。
6.根據權利要求1至4中任一項所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)至少部分地構造在所述微機械功能層(20)的上方。
7.根據上述權利要求中任一項所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述扭轉彈簧(22)的一個端部與基本構造在所述微機械功能層(20)上方的所述彈簧裝置(23,24)的一部分連接，而所述扭轉彈簧(22)的另一端部與基本構造在所述微機械功能層(20)下方的所述彈簧裝置(23,24)的一部分連接。
8.根據上述權利要求中任一項所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)具有彼此正交地定向的區段。
9.根據權利要求8所述的微機械Z慣性傳感器(100)，其特征在于，所述彈簧裝置(23,24)的至少一個元件具有加強結構(26)。
10.用于制造微機械Z慣性傳感器(100)的方法，具有以下步驟：
-提供構造在微機械功能層(20)中的能運動的MEMS結構(21)；
-提供與能運動的所述MEMS結構連接的扭轉彈簧(22)；和
-這樣提供與所述扭轉彈簧(22)連接的彈簧裝置(23,24)，使得限定地阻止所述扭轉彈簧(22)正交于所述MEMS結構(21)的敏感方向地偏轉。
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