[發明專利]一種多晶硅片智能化清洗裝置

有效

• 申請號: 201811329761.6
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN109158373B
• 公開（公告）日: 2023-10-10
• 發明（設計）人: 何飛;張靖
• 申請（專利權）人: 江蘇德潤光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;F26B21/00;H01L21/67;H01L21/02
• 代理公司: 南京申云知識產權代理事務所(普通合伙) 32274
• 代理人: 朱進

1.一種多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，包括清洗筒、筒蓋和承載部，所述承載部包括第一盛裝籃、第二盛裝籃和第三盛裝籃，所述第一盛裝籃包括第一底板、與第一底板固定的圓環柱形的第一外側壁部和與所述第一底板固定的圓環柱形的第一內側壁部，所述第一外側壁部的內圓周處具有多個豎直的第一外卡槽，所述第一內側壁部的外圓周處具有多個豎直的第一內卡槽，所述第一外卡槽的數量等于第一內卡槽的數量，所述第一底板處具有多個第一弧形通孔；所述第二盛裝籃包括第二底板、與第二底板固定的圓環柱形的第二外側壁部和與所述第二底板固定的圓環柱形的第二內側壁部，所述第二外側壁部的內圓周處具有多個豎直的第二外卡槽，所述第二內側壁部的外圓周處具有多個豎直的第二內卡槽，所述第二外卡槽的數量等于第二內卡槽的數量，所述第二底板處具有多個第二弧形通孔；所述第三盛裝籃包括第三底板、與第三底板固定的圓環柱形的第三外側壁和與所述第三底板固定的圓環柱形的第三內側壁部，所述第三外側壁部的內圓周處具有多個豎直的第三外卡槽，所述第三內側壁部的外圓周處具有多個豎直的第三內卡槽，所述第三外卡槽的數量等于第三內卡槽的數量，所述第三底板處具有多個第三弧形通孔；所述第一底板處固定有第一提桿，所述第一提桿穿過第一內側壁部、第二底板、第二內側壁部、第三底板和第三內側壁部，所述第二盛裝籃和第三盛裝籃能夠相對于所述提桿滑動，所述第一、二、三底板均為圓形，所述第一底板的圓周處固定有第一固定環，所述第二底板的圓周處固定有第二固定環，所述第三底板的圓周處固定有第三固定環，所述第一固定環固定連接有多個第一定位柱，所述第二固定環固定連接有多個第二定位柱，所述第二固定環具有多個被所述第一定位柱穿過的第一定位孔，所述第三固定環具有多個被第二定位柱穿過的第二定位孔，所述第二固定環的下表面具有多個端部呈半球形的第一凸起，所述第三固定環的下表面具有多個端部呈半球形的第二凸起；所述清洗筒的內側壁部固定有圓環形的第一承載環和圓環形的第二承載板，所述第一承載環的上表面具有用于放置所述第一凸起的第一圓環形滑槽，所述第二承載環的上表面具有用于放置所述第二凸起的第二圓環形滑槽，所述清洗筒的底部具有轉軸，所述轉軸連接有轉盤，所述轉盤處具有定位凸起，所述第一底板的下表面具有與所述定位凸起配合的定位凹槽，所述定位凸起和定位凹槽均為長方體形；所述清洗筒的內具有多個超聲發生裝置，所述清洗筒還具有驅動所述轉軸轉動的驅動機構，所述清洗筒連接有進液管和出液管，所述進液管處具有第一閥門，所述出液管處具有第二閥門，所述筒蓋內具有內腔，所述內腔通過管路連接有風機，所述管路處具有加熱單元，所述筒蓋下方固定有一排與所述內腔連通的噴嘴。

2.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述第一凸起有4個，所述第二凸起有4個。

3.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述第一、二凸起均包括圓柱體部分和與圓柱體部分固定連接的半球體部分。

4.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述第一、二定位柱和第一、二定位孔均為2個。

5.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述提桿的頂端固定有矩形框部。

6.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述第二固定環的外徑小于第二承載環的內徑，所述第一固定環的外徑小于第一承載環的內徑；當所述第一底板與所述轉盤抵接、多個第一凸起均位于第一圓環形滑槽內且多個第二凸起均位于第二圓環形滑槽內時，所述第一內側壁部的頂端與所述第二底板的下表面之間的距離大于10cm，所述第二內側壁部的頂端與所述第三底板的下表面之間的距離大于10cm。

7.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述第一內側壁部、第二內側壁部、第三內側壁部、第一外側壁部、第二外側壁部和第三外側壁部的高度均相等。

8.根據權利要求1所述的多晶硅片智能化清洗裝置，其特征在于，所述清洗筒為圓柱形。