[發(fā)明專利]光學(xué)傳遞函數(shù)的檢測方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811329266.5
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN109540473B
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾飛;何鋒赟;趙楠;胡玥;劉韜;董健
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 深圳市科進(jìn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛(wèi)良

1.一種光學(xué)傳遞函數(shù)的檢測方法，其特征在于，所述方法包括下述步驟：

S1.獲得卷積元件與光學(xué)系統(tǒng)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的卷積；所述卷積元件是具有一定形狀的斬波元件；所述卷積元件的形狀為刀口、圓孔、方孔和狹縫中的任意一種；

S2.對所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的卷積進(jìn)行反卷積的運(yùn)算，獲得所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)；

S3.對所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)進(jìn)行傅里葉變換得到所述光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)傳遞函數(shù)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S1包括以下步驟：

S11.使成像光源的光束依次經(jīng)過所述光學(xué)系統(tǒng)、卷積元件和光電探測器；

S12.通過掃描裝置的運(yùn)動，使得所述光電探測器獲得一系列探測能量值；

S13.通過所述一系列探測能量值得到探測能量函數(shù)。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟S1包括以下步驟：

S11’.使照明光源的光束依次經(jīng)過所述卷積元件、所述光學(xué)系統(tǒng)和成像探測器；

S12’.通過所述成像探測器測量所述卷積元件到像面的像函數(shù)。

4.一種采用如權(quán)利要求1至3任意一項(xiàng)所述光學(xué)傳遞函數(shù)的檢測方法的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)包括：

卷積獲得單元，接入待檢測的光學(xué)系統(tǒng)，通過掃描或者成像的方式獲得光學(xué)系統(tǒng)的點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的卷積；所述卷積獲得單元包括卷積元件，所述卷積元件是具有一定形狀的斬波元件；所述卷積元件的形狀為刀口、圓孔、方孔和狹縫中的任意一種；

反卷積單元，與所述卷積獲得單元連接，對所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)的卷積進(jìn)行反卷積的運(yùn)算，獲得所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)；

傅里葉變換單元，與所述反卷積單元連接，對所述點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)進(jìn)行傅里葉變換得到所述光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)傳遞函數(shù)。

5.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)傳遞函數(shù)的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述卷積獲得單元包括：通過光路連接的成像光源和光電探測器，掃描裝置分別與所述卷積元件和所述光電探測器連接；待測的所述光學(xué) 系統(tǒng)接入所述成像光源與所述卷積元件之間，所述成像光源的光束依次經(jīng)過所述光學(xué)系統(tǒng)、所述卷積元件到達(dá)所述光電探測器。

6.如權(quán)利要求4所述的光學(xué)傳遞函數(shù)的檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述卷積獲得單元包括：通過光路連接的照明光源和成像探測器；待測的所述光學(xué)系統(tǒng)接入所述卷積元件與所述成像探測器之間，照明光源的光束依次經(jīng)過所述卷積元件、所述光學(xué)系統(tǒng)到達(dá)所述成像探測器。