[發明專利]超薄光學元件的工裝夾具

在審

• 申請號: 201811329120.0
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN109277965A
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 張慧方;頓愛歡;邵建達;朱寶鈐;陳榮;方媛媛;吳福林;徐學科
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所;上海恒益光學精密機械有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 上海恒慧知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31317
• 代理人: 張寧展

一種超薄光學元件檢測的工裝夾具，包括底座、減壓粘結層、圓柱銷、壓塊、螺釘、螺栓、薄螺母和方形壓頭，減壓粘結層為雙面膠，附著于壓塊下表面和底座上表面。本發明可固定不同口徑的超薄光學元件，且元件依靠三點支撐固定，受力面積降至極低，減壓粘結層在起到粘結固定作用的同時還可有效控制超薄光學元件的受力，極大地降低了元件的受力變形。以本發明固定超薄光學元件并置于光學檢測平臺上，滿足了檢測裝置對待測元件相對位置的要求。

技術領域

本發明涉及一種夾具,特別是一種固定超薄光學元件的工裝夾具。

背景技術

超薄光學元件一般指口徑遠大于厚度的光學元件，廣泛應用于激光及檢測等領域。超薄光學元件是碟片激光器中的關鍵元件，厚度一般為百微米量級，作為碟片激光器里的增益介質，可以均勻散熱，大大降低了熱透鏡效應及熱致應力雙折射效應，碟片激光器可以定標放大到很高的平均功率。CGH的基底是一種典型的超薄大徑厚比光學元件，CGH作為零位補償器廣泛應用于高精度非球面檢測，具有設計殘差小、結構簡單、無裝調誤差、制作周期短、精度高和設計靈活的特點。超薄光學元件的面形精度、表面及亞表面質量等是影響其在這些領域應用的重要指標。

超薄光學元件的面形質量是通過檢測的方法表征的，通過檢測得到PV值、粗糙度及像散等面形數據。檢測時需將待測光學元件豎直放置于光學檢測平臺上，但超薄光學元件的厚度一般不足一毫米，必須依靠夾具才能直立于光學平臺上。由于厚度極薄，導致不易固定且受力易變形，變形后會給檢測結果帶來誤差。既要固定又要控制變形是檢測超薄光學元件時需要解決的問題。

發明內容

本發明的目的是解決上述現存問題，提供一種超薄光學元件檢測的工裝夾具，該夾具既固定了超薄光學元件，使其可以直立放置，滿足了光學檢測平臺對待測件相對位置的要求，同時可有效控制超薄光學元件裝夾后的變形程度，降低了超薄光學元件由于受外力變形帶來的檢測誤差。

本發明的技術解決方案如下：

一種超薄光學元件檢測的工裝夾具，其特點在于包括底座、減壓粘結層、兩根圓柱銷、兩枚螺釘、壓塊、螺栓、薄螺母和方形壓頭；

所述的底座具有置放超薄光學元件的倒梯形凹槽，兩根圓柱銷對稱地豎直地固定在所述的底座的兩邊上，在所述的倒梯形凹槽的上表面粘貼有減壓粘結層；

所述的壓塊的兩端于所述的兩根圓柱銷相對應的位置上開有圓形通孔，壓塊中心位置開有上下貫穿螺紋孔，且壓塊下表面中心位置具有方形凹槽，壓塊的中心位置在所述的方形凹槽的上面具有前后貫通的扁孔，該壓塊正面的兩端與所述的兩根圓柱銷相對應的位置各有一螺孔，所述的薄螺母置于壓塊前后貫通的扁孔中，所述的方形壓頭置于所述的壓塊的方形凹槽內，所述的螺栓與所述的方形壓頭固結為一體，螺栓擰入所述的壓塊上下貫穿螺紋孔并穿過薄螺母；所述的螺栓通過所述的薄螺母調節對所述的方形壓頭的壓力，在所述的壓塊和方形壓頭的下表面設有所述的減壓粘結層；

所述的壓塊通過圓形通孔套設在所述的兩圓柱銷上，用兩枚螺釘從所述的壓塊兩端的螺孔擰入將所述的壓塊固定于所述的兩根圓柱銷上。

所述減壓粘結層為雙面膠。

將待測的超薄光學元件水平放置于口徑小于待測元件口徑的薄平板上，將本夾具水平放置，并使得待測元件位于兩圓柱銷中間，根據待測元件的口徑，使壓塊沿圓柱銷緩慢滑動到可以放進待測元件并留有約1mm空隙的位置，然后旋轉兩枚螺釘將壓塊固定到兩根圓柱銷上；再緩慢旋轉薄螺母，緩慢移動方形壓頭進一步固定待測超薄光學元件。

與超薄光學元件直接接觸的是減壓粘結層，減壓粘結層采用的是具有粘性的軟材料雙面膠，一方面軟材料緩沖了元件側面所受的壓力，另一方面雙面膠的粘性使元件固定得更加穩定。

以本發明固定的圓形超薄光學元件，理想情況下是依靠三個支點固定，受力面積降至極低，可有效控制受力產生的變形。

本發明的優點是：