[發(fā)明專利]雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)及其控制方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811328940.8 | 申請日： | 2018-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN109227221A | 公開（公告）日： | 2019-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 譚立杰;王廣峰;張乾;周立慶;肖鈺;黃衛(wèi)國;程秀全;程雨 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所） |
| 主分類號： | B23Q11/12 | 分類號： | B23Q11/12 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 王暉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 雙螺旋 軸套 供水機構(gòu) 溫控機構(gòu) 出水口 進水口 連通 出水通路 進水通路 螺旋凹槽 溫控系統(tǒng) 軸套機構(gòu) 安裝座 出水口位置 進水口位置 監(jiān)測結(jié)果 控制連接 密封安裝 涉及設(shè)備 循環(huán)連通 供水量 螺旋狀 內(nèi)壁 外壁 軸向 監(jiān)測 進口 出口 制造 | ||
1.一種雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，包括：
雙螺旋軸套機構(gòu)，所述雙螺旋軸套機構(gòu)包括雙螺旋軸套、主軸和安裝座；
所述雙螺旋軸套的內(nèi)壁或所述主軸的外壁沿軸向開設(shè)有兩個螺旋狀的螺旋凹槽，所述主軸通過所述安裝座密封安裝在所述雙螺旋軸套內(nèi)，兩個所述螺旋凹槽在所述主軸和所述雙螺旋軸套之間構(gòu)成循環(huán)連通的進水通路和出水通路；
所述雙螺旋軸套上設(shè)置有進水口和出水口，所述進水口和所述出水口分別與所述進水通路和所述出水通路連通；
供水機構(gòu)，所述供水機構(gòu)的出口與所述進水口連通，用于向所述進水通路輸送冷卻水；所述供水機構(gòu)的進口與所述出水口連通，用于回收所述出水通路的冷卻水；
溫控機構(gòu)，所述溫控機構(gòu)用于監(jiān)測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值；
控制機構(gòu)，所述控制機構(gòu)與所述供水機構(gòu)和所述溫控機構(gòu)控制連接，用于根據(jù)所述溫控機構(gòu)的監(jiān)測結(jié)果控制所述供水機構(gòu)的供水量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述溫控機構(gòu)包括：
第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器分別安裝在所述進水口和所述出水口的位置，用于監(jiān)測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述控制機構(gòu)包括：
控制器，所述控制器與所述第一傳感器、所述第二傳感器和所述供水機構(gòu)控制連接，用于獲取所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值并計算兩者的溫差值，并根據(jù)所述溫差值控制所述供水機構(gòu)的供水量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述供水機構(gòu)包括：
水冷機、進水管道和出水管道；所述進水管道連通在所述水冷機的出口和所述進水口之間，所述出水管道連接在所述出水口和所述水冷機的進口之間，用于在所述進水通路、所述出水通路和所述水冷機之間形成循環(huán)的流道。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述雙螺旋軸套的端部設(shè)置有雙密封圈，并通過所述雙密封圈端面密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，兩個所述螺旋凹槽的螺旋螺距均為15mm，槽寬均為4mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器上設(shè)置有IO接口，所述第一傳感器、所述第二傳感器和所述水冷機通過所述IO接口與所述控制器控制連接。
8.一種雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統(tǒng)，方法如下：
供水機構(gòu)提供冷卻水，并在所述進水通路、所述出水通路和所述供水機構(gòu)之間循環(huán)流動；
所述溫控機構(gòu)監(jiān)測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值；
所述控制機構(gòu)與所述供水機構(gòu)和所述溫控機構(gòu)控制連接，根據(jù)所述溫控機構(gòu)的監(jiān)測結(jié)果控制所述供水機構(gòu)的供水量。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述控制機構(gòu)獲取所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值并計算兩者的溫差值；
當(dāng)所述溫差值大于預(yù)設(shè)溫差值時，所述控制機構(gòu)控制所述供水機構(gòu)增加供水量。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)溫差值為1℃。
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