[發明專利]雙螺旋主軸溫控系統及其控制方法

在審

• 申請號: 201811328940.8
• 申請日: 2018-11-09
• 公開（公告）號: CN109227221A
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發明（設計）人: 譚立杰;王廣峰;張乾;周立慶;肖鈺;黃衛國;程秀全;程雨
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B23Q11/12
• 分類號: B23Q11/12
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 王暉

1.一種雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，包括：

雙螺旋軸套機構，所述雙螺旋軸套機構包括雙螺旋軸套、主軸和安裝座；

所述雙螺旋軸套的內壁或所述主軸的外壁沿軸向開設有兩個螺旋狀的螺旋凹槽，所述主軸通過所述安裝座密封安裝在所述雙螺旋軸套內，兩個所述螺旋凹槽在所述主軸和所述雙螺旋軸套之間構成循環連通的進水通路和出水通路；

所述雙螺旋軸套上設置有進水口和出水口，所述進水口和所述出水口分別與所述進水通路和所述出水通路連通；

供水機構，所述供水機構的出口與所述進水口連通，用于向所述進水通路輸送冷卻水；所述供水機構的進口與所述出水口連通，用于回收所述出水通路的冷卻水；

溫控機構，所述溫控機構用于監測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值；

控制機構，所述控制機構與所述供水機構和所述溫控機構控制連接，用于根據所述溫控機構的監測結果控制所述供水機構的供水量。

2.根據權利要求1所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，所述溫控機構包括：

第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器和所述第二傳感器分別安裝在所述進水口和所述出水口的位置，用于監測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值。

3.根據權利要求2所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，所述控制機構包括：

控制器，所述控制器與所述第一傳感器、所述第二傳感器和所述供水機構控制連接，用于獲取所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值并計算兩者的溫差值，并根據所述溫差值控制所述供水機構的供水量。

4.根據權利要求3所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，所述供水機構包括：

水冷機、進水管道和出水管道；所述進水管道連通在所述水冷機的出口和所述進水口之間，所述出水管道連接在所述出水口和所述水冷機的進口之間，用于在所述進水通路、所述出水通路和所述水冷機之間形成循環的流道。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，所述雙螺旋軸套的端部設置有雙密封圈，并通過所述雙密封圈端面密封。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，兩個所述螺旋凹槽的螺旋螺距均為15mm，槽寬均為4mm。

7.根據權利要求4所述的雙螺旋主軸溫控系統，其特征在于，所述控制器上設置有IO接口，所述第一傳感器、所述第二傳感器和所述水冷機通過所述IO接口與所述控制器控制連接。

8.一種雙螺旋主軸溫控系統的控制方法，其特征在于，包括如權利要求1-7中任一項所述的雙螺旋主軸溫控系統，方法如下：

供水機構提供冷卻水，并在所述進水通路、所述出水通路和所述供水機構之間循環流動；

所述溫控機構監測所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值；

所述控制機構與所述供水機構和所述溫控機構控制連接，根據所述溫控機構的監測結果控制所述供水機構的供水量。

9.根據權利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述控制機構獲取所述進水口位置和所述出水口位置的水溫值并計算兩者的溫差值；

當所述溫差值大于預設溫差值時，所述控制機構控制所述供水機構增加供水量。

10.根據權利要求9所述的控制方法，其特征在于，所述預設溫差值為1℃。