[發明專利]蒸鍍裝置及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201811326464.6
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109295422B
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 王鑫;王洋;張燦;張蕩;崔曉晨;蔡鵬;李官正
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置包括：

容器(10)，具有容納腔(101)，所述容器的壁上設有開孔(11)；

蒸鍍基臺(20)，設置在所述容納腔內；

蒸鍍材料收容器(30)，具有用于收容蒸鍍材料的收容空間(301)，所述收容空間與所述容納腔連通，所述蒸鍍材料收容器用于加熱蒸鍍材料使蒸鍍材料氣化，以使氣態蒸鍍材料進入所述容納腔并沉積在所述蒸鍍基臺上；

抽取設備(50)，所述抽取設備的入口通過所述開孔(11)與所述容納腔連通，出口與所述收容空間連通，所述抽取設備用于抽取所述容納腔(101)內未沉積的蒸鍍材料并輸送至所述收容空間(301)內；

所述蒸鍍材料收容器(30)內設置有活塞(302)，所述活塞(302)可在所述蒸鍍材料收容器內移動，以調整所述蒸鍍材料收容器的收容空間(301)的大小。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍材料收容器(30)、所述抽取設備(50)與所述開孔(11)的數量分別為多個，每一所述抽取設備(50)的入口通過對應的開孔與所述容納腔連通，出口與對應的所述蒸鍍材料收容器的收容空間連通，所述開孔(11)具有閉合和打開兩種狀態，以在其中一個所述蒸鍍材料收容器(30)對應的開孔(11)打開時，其他所述蒸鍍材料收容器(30)對應的開孔(11)閉合。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，多個所述蒸鍍材料收容器(30)對應的開孔(11)在所述容器的壁上交替排布。

4.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述開孔(11)設置在所述容器(10)的底壁(14)上。

5.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括蒸鍍噴頭(40)，所述蒸鍍噴頭的入口與所述收容空間(301)連通，出口與所述容納腔(101)連通，以使所述收容空間內的氣態蒸鍍材料經過所述蒸鍍噴頭(40)進入所述容納腔。

6.根據權利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍噴頭(40)的出口位于所述蒸鍍基臺上方。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括設置在所述容納腔內的可伸縮吊架(60)，所述可伸縮吊架(60)的兩端分別與所述蒸鍍基臺和所述容器(10)的頂壁連接，所述可伸縮吊架可帶動所述蒸鍍基臺上下移動，以調整所述蒸鍍噴頭與所述蒸鍍基臺的距離。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍噴頭(40)的出口處設置有流量表，所述流量表用于檢測所述蒸鍍噴頭的出口處的氣態蒸鍍材料的流量。

9.一種蒸鍍方法，其特征在于，所述蒸鍍方法應用于權利要求1至8中任一項所述的蒸鍍裝置，所述蒸鍍方法包括：

所述蒸鍍材料收容器對蒸鍍材料加熱，以使所述收容空間內的蒸鍍材料氣化后進入所述容納腔內，并沉積在所述蒸鍍基臺上；所述抽取設備抽取所述容納腔內未沉積的蒸鍍材料并輸送至所述收容空間內。