[發(fā)明專利]光譜檢測(cè)裝置及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811325136.4
• 申請(qǐng)日: 2018-11-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109959451B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳裕仁;王唯科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 采鈺科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01J3/28
• 分類號(hào): G01J3/28;G01J3/42;G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

1.一光譜檢測(cè)裝置，包括：

一基底，具有一第一光電二極管及一第二光電二極管；

一干涉型濾光層，設(shè)置于該第一光電二極管及該第二光電二極管上方，其中該干涉型濾光層允許具有一多重波段的波長(zhǎng)的一第一光線穿過(guò)，其中該多重波段包括一第一波段(a)、一第二波段(b)、一第三波段(c)及一第四波段(d)；

一第一吸收型濾光層，設(shè)置于該第一光電二極管及該第二光電二極管上方，其中該第一吸收型濾光層允許具有一第一區(qū)的波長(zhǎng)的一第二光線穿過(guò)；以及

一第二吸收型濾光層，設(shè)置于該第二光電二極管上方，其中該第二吸收型濾光層設(shè)置于該第一吸收型濾光層上方，且該第二吸收型濾光層允許具有一第二區(qū)的波長(zhǎng)的一第三光線穿過(guò)，且其中該第二區(qū)與該第一區(qū)重疊，

其中該基底還包括一第三光電二極管，且該第二吸收型濾光層更設(shè)置在該第三光電二極管上方，且該光譜檢測(cè)裝置還包括：

一第三吸收型濾光層，設(shè)置于該第三光電二極管上方，其中該第三吸收型濾光層設(shè)置在該第二吸收型濾光層上方，且其中該第三吸收型濾光層允許具有一第三區(qū)的波長(zhǎng)的一第四光線穿過(guò)，且該第三區(qū)至少與該第一區(qū)或該第二區(qū)的至少一者重疊。

2.如權(quán)利要求1所述的光譜檢測(cè)裝置，其中設(shè)置在該第三光電二極管上的該第三吸收型濾光層的一上表面與設(shè)置在該第二光電二極管上的該第二吸收型濾光層的一上表面共平面，且設(shè)置在該第三光電二極管上的該第二吸收型濾光層的一上表面與設(shè)置在該第二光電二極管上的該第一吸收型濾光層的一上表面共平面。

3.如權(quán)利要求1所述的光譜檢測(cè)裝置，其中該基底還包括一第四光電二極管，且該第三吸收型濾光層更設(shè)置在該第四光電二極管上，其中該第一區(qū)包括該第一波段(a)、該第二波段(b)、該第三波段(c)及該第四波段(d)，該第二區(qū)包括該第一波段(a)及該第四波段(d)，且該第三區(qū)包括該第三波段(c)及該第四波段(d)，使得

該第一光電二極管接收該第一波段(a)、該第二波段(b)、該第三波段(c)及該第四波段(d)，

該第二光電二極管接收該第一波段(a)及該第四波段(d)，

該第三光電二極管接收該第四波段(d)，且

該第四光電二極管接收該第三波段(c)及該第四波段(d)。

4.如權(quán)利要求3所述的光譜檢測(cè)裝置，其中從該第三光電二極管及該第四光電二極管，通過(guò)將該第四光電二極管的該第三波段(c)及該第四波段(d)減掉該第三光電二極管的該第四波段(d)而決定該第三波段(c)；

從該第二光電二極管及該第三光電二極管，通過(guò)將該第二光電二極管的該第一波段(a)及該第四波段(d)減掉該第三光電二極管的該第四波段而決定該第一波段(a)；

從該第一光電二極管、該第二光電二極管、該第三光電二極管及該第四光電二極管，通過(guò)將該第一光電二極管的該第一波段(a)、該第二波段(b)、該第三波段(c)及該第四波段(d)減掉由該第二光電二極管、該第三光電二極管及該第四光電二極管決定的該第一波段(a)、該第三波段(c)及該第四波段(d)，而決定該第二波段(b)。

5.如權(quán)利要求3所述的光譜檢測(cè)裝置，其中該第一區(qū)包括該第一波段(a)及該第四波段(d)，該第二區(qū)包括該第三波段(c)及該第四波段(d)，且該第三區(qū)包括該第一波段(a)、該第二波段(b)及該第三波段(c)，使得

該第一光電二極管接收該第一波段(a)及該第四波段(d),

該第二光電二極管接收該第四波段(d),

該第三光電二極管接收該第三波段(c)，且

該第四光電二極管接收該第一波段(a)、該第二波段(b)及該第三波段(c)，

且其中從該第一光電二極管及該第二光電二極管，通過(guò)將該第一光電二極管的該第一波段(a)及該第四波段(d)減掉該第二光電二極管的該第四波段(d)，而決定該第一波段(a)；

從該第一光電二極管、該第二光電二極管、該第三光電二極管及該第四光電二極管，通過(guò)將該第四光電二極管的該第一波段(a)、該第二波段(b)及該第三波段(c)減掉由該第一光電二極管、該第二光電二極管及該第三光電二極管決定的該第一波段(a)及該第三波段(c)，決定該第二波段(b)。