[發(fā)明專利]設(shè)置有隔音裝置的真空泵系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811324739.2
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN109944802A
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅伯托·卡博里;喬納坦·佩羅塔
• 申請（專利權(quán)）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: F04C29/06
• 分類號: F04C29/06;F04C25/02
• 代理公司: 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11258
• 代理人: 柳春雷

本發(fā)明公開一種設(shè)置有隔音裝置的真空泵系統(tǒng)。真空泵系統(tǒng)(100)包括真空泵(10)并設(shè)置有隔音裝置(40、50、60)。本發(fā)明的真空泵系統(tǒng)包括真空泵(10)和隔音罩(50)，真空泵容納在泵外殼中，隔音罩圍繞所述泵外殼并且設(shè)置有罩空氣入口(52)和罩空氣出口(54)。為了改善對由真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪音的抑制，一個(gè)或多個(gè)附加隔音屏蔽元件分別設(shè)置在罩空氣入口與泵外殼空氣入口之間和/或罩空氣出口與泵外殼空氣出口之間。在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中，所述一個(gè)或多個(gè)附加隔音屏蔽元件設(shè)計(jì)為殼體(40)，殼體圍繞所述泵外殼并且設(shè)置有殼體空氣入口(46)和殼體空氣出口(48)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空泵系統(tǒng)，其包括真空泵并設(shè)置有隔音裝置。更具體地，本發(fā)明涉及真空泵系統(tǒng)，其包括旋轉(zhuǎn)葉片真空泵并設(shè)置有隔音裝置。

背景技術(shù)

真空泵用于廣泛的應(yīng)用中，以獲得從粗真空條件(即約10^-1Pa)到非常高的真空條件(即約10^-8Pa)的低于大氣壓的條件。

更具體地，旋轉(zhuǎn)葉片真空泵是機(jī)械泵，即正排量泵，其通常用于獲得從大氣壓至約10^-1Pa的壓力范圍內(nèi)的低真空條件。

根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，旋轉(zhuǎn)葉片真空泵通常包括泵外殼，該泵外殼具有吸氣口和排氣口并且容納限定圓柱形腔室的定子；圓柱形轉(zhuǎn)子偏心地布置在定子室內(nèi)，該轉(zhuǎn)子配備有彈簧加載的徑向葉片，該徑向葉片與定子室的壁配合，以用于將氣體從吸氣口泵送到排氣口。泵外殼填充有油，使得定子浸入油浴中，該油浴具有冷卻和潤滑泵并使泵與外部環(huán)境隔離的功能。

這種泵例如從US 6,019,585和GB 2151091A中已知。

仍然根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)，驅(qū)動馬達(dá)(即電動馬達(dá))通過軸連接可操作地連接到泵，以便驅(qū)動泵轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動馬達(dá)通常布置在泵外殼外部并且通過接口凸緣連接到泵外殼。

設(shè)置一個(gè)或多個(gè)鼓風(fēng)機(jī)或風(fēng)扇以用于冷卻旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，并且特別地，用于將泵外殼中的真空泵油浴的油的溫度保持在預(yù)定溫度閾值以下。

上述真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生相當(dāng)大的噪音，這使得其附近的工作條件不舒適，并且在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中被認(rèn)為是嚴(yán)重的缺點(diǎn)。

包括具有移動部件(例如，通常用于獲得高真空條件的渦輪分子泵)其他類型的真空泵和/或包括具有移動部件的泵附件的真空泵系統(tǒng)也產(chǎn)生噪音，這在一些應(yīng)用中可表示顯著的缺點(diǎn)。

真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪音隨著真空泵的泵送速度的增加而增加。

因此，用于減少由真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪音的可能的解決方案是以低速運(yùn)行真空泵。

然而，這種解決方案并不吸引人，因?yàn)樗鼤φ婵毡孟到y(tǒng)的性能產(chǎn)生負(fù)面影響。

為了在高速運(yùn)行真空泵的同時(shí)抑制由真空泵系統(tǒng)產(chǎn)生的噪音，建議為真空泵系統(tǒng)提供包圍真空泵及其驅(qū)動馬達(dá)的殼體。

US 5,145,335公開了一種真空泵系統(tǒng)，其包括旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，該真空泵包括第一外殼、驅(qū)動馬達(dá)和第二外殼，第一外殼接收泵定子和泵轉(zhuǎn)子并填充有油，驅(qū)動馬達(dá)與真空泵相聯(lián)，第二外殼圍繞第一外殼和驅(qū)動馬達(dá)。

這種第二外殼的存在允許部分地減少由真空泵及其驅(qū)動馬達(dá)傳遞到周圍環(huán)境的噪音。

然而，同樣考慮到需要為第二外殼提供空氣入口和空氣出口以允許空氣流在第二外殼內(nèi)流動以冷卻真空泵和驅(qū)動馬達(dá)，因此一些噪音在任何情況下都轉(zhuǎn)移到周圍環(huán)境。

結(jié)果，通過US 5,145,335中公開的解決方案獲得的噪音抑制效果已經(jīng)證明不足以用于某些應(yīng)用(例如，所謂的“靜音實(shí)驗(yàn)室”)，其中，在真空泵系統(tǒng)周圍的環(huán)境中需要低于55dB并且優(yōu)選低于50dB的噪音。

還應(yīng)考慮隔音裝置的存在會導(dǎo)致真空泵冷卻的顯著惡化。