[發明專利]一種適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置

在審

• 申請號: 201811320572.2
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN109850502A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 張文亮;張豐;張久武;張少飛;張淳;戴超;劉琦;孫晨光;徐榮清
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

本發明提供了一種適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置，包括設置在片盒清洗機周圍的軌道以及設置在軌道上的搬運小車，軌道的一側設置有齒條，搬運小車的下部設置有第二電機帶動運轉的齒輪，齒輪和齒條嚙合，搬運小車上設置有片盒治具夾緊轉臺，片盒治具夾緊轉臺可在豎直方向上進行轉動。本發明所述的適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置，有效節省工作空間、提高了生產效率。

技術領域

本發明屬于半導體材料領域，尤其是涉及一種適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置。

背景技術

在半導體硅單晶制造領域中,片盒清洗機中片盒治具需要人工從出口搬運至入口，浪費人力，片盒清洗效率低下；另外，片盒清洗機與墻壁之間空間有限，人工搬運十分不便。

采用RGV小車傳輸片盒治具，可節省人力，提高自動化程度，有效節省工作空間，對傳輸片盒治具具有非常重要的應用價值。

發明內容

有鑒于此，本發明旨在提出一種適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置，有效節省工作空間、提高了生產效率。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

一種適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置，包括設置在片盒清洗機周圍的軌道以及設置在軌道上的搬運小車，軌道的一側設置有齒條，搬運小車的下部設置有第二電機帶動運轉的齒輪，齒輪和齒條嚙合，搬運小車上設置有片盒治具夾緊轉臺，片盒治具夾緊轉臺可在豎直上進行轉動。

進一步的，片盒治具夾緊轉臺包括片盒治具托架和夾緊裝置，片盒治具托架下面與轉動軸固定連接，轉動軸通過聯軸器與第一電機的輸出軸連接，在第一電機的帶動下，片盒治具托架以轉動軸為中心進行轉動。

進一步的，片盒治具托架包括底板和側板，側板位于底板的兩側且與底板垂直，底板上且位于設置有側板的兩端分別設置有滾輪，片盒治具通過滾輪平移至片盒治具托架上，夾緊裝置設置在側板上，夾緊裝置包括氣缸和夾緊板，氣缸固定設置在側板的外側，且氣缸的活塞桿豎直向上設置，活塞桿的端部固定連接有L形的夾緊板，夾緊板在氣缸的帶動下夾緊片盒治具。

進一步的，搬運小車下面設置有第二電機、齒輪和車輪，車輪分別布置在軌道的兩側，第二電機豎直方向設置且第二電機的輸出軸朝下設置，第二電機的輸出軸的端部固定設置有齒輪，齒輪與齒條配合，在第二電機的帶動下齒輪轉動帶動。

進一步的，第二電機的輸出軸與齒輪之間采用平鍵進行連接。

進一步的，側板的同一端設置有向內延伸的擋板。

工作原理：

在片盒清洗機的出口處，片盒治具移動至片盒清洗機出口處，并且其上裝有片盒。首先啟動氣缸，使夾緊板上升，片盒治具通過滾輪托送至片盒治具托架上，由于滾輪的設置，減小了滾輪與片盒治具之間的摩擦，提高了工作的潔凈度。待片盒治具進入片盒治具托架上之后，將夾緊板向下移動，使得夾緊板將片盒治具夾緊。啟動第一電機，第一電機通過輸出軸、聯軸器以及轉動軸進而帶動片盒治具托架轉動45°，取下片盒再旋轉45°片盒治具處于豎直狀態。滾輪為塑料材質，避免摩擦產塵。

然后啟動第二電機，進而齒輪轉動，進而齒輪通過與齒條嚙合向前移動，進而搬運小車向前移動。將片盒治具傳輸至片盒清洗機入口處，將片盒治具放置在清洗機入口處，反方向旋轉45°，將片盒掛在片盒治具上，再繼續旋轉45°，片盒治具處于水平位置。然后啟動氣缸，使夾緊板上升，帶有片盒的片盒治具通過滾輪離開搬運小車，進入到片盒清洗機。然后卸下了片盒治具的搬運小車再次返回片盒清洗機出口，等待裝有清洗之后片盒的片盒治具。

相對于現有技術，本發明所述的適用于一級潔凈室的片盒清洗機自動傳輸裝置具有以下優勢：