[發(fā)明專利]一種高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811319710.5
• 申請(qǐng)日: 2018-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN109648428B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊坤;回長順;王朋;李寧;李圣義;蒙建雄;唐海瑞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津津航技術(shù)物理研究所
• 主分類號(hào): B24B13/00
• 分類號(hào): B24B13/00;B24B1/00
• 代理公司: 中國兵器工業(yè)集團(tuán)公司專利中心 11011
• 代理人: 劉二格

1.一種高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法，CVD ZnSe梯形棱鏡的頂面M3和兩個(gè)側(cè)面M1、M2作為三個(gè)定位面，底面H和與底面H成45°夾角的前后兩個(gè)表面P、Q作為三個(gè)光學(xué)表面；其特征在于，包括以下步驟：

第一步：銑磨毛坯；

第二步：圓弧刀具車削梯形棱鏡定位面M1、M2、M3和光學(xué)表面H；

第三步：使用帶有回轉(zhuǎn)B軸的CNC超精密金剛石車削機(jī)床車削工裝定位面，然后裝卡梯形棱鏡；

第四步：使用帶有回轉(zhuǎn)B軸的CNC超精密金剛石車削機(jī)床和飛刀車削梯形棱鏡三個(gè)光學(xué)表面P、Q和H；

所述第一步中，使用CNC銑磨機(jī)對(duì)塊狀CVD ZnSe材料銑磨成形，得到梯形棱鏡毛坯；

所述第一步中，毛坯三個(gè)定位面和三個(gè)光學(xué)表面留有0.2mm～0.3mm車削余量；

所述第一步中，銑磨后，梯形棱鏡光學(xué)表面之間的角度精度優(yōu)于10′，定位面和光學(xué)表面的側(cè)垂精度優(yōu)于10′；

所述第二步中，使用金剛石圓弧刀具和超精密CNC金剛石車床車削梯形棱鏡三個(gè)定位面M1、M2和M3及一個(gè)光學(xué)表面H，車削完成后，得到梯形棱鏡半成品，車削的定位面之間及定位面與光學(xué)表面之間符合預(yù)設(shè)形位尺寸及配合精度要求；

所述第三步中，使用帶有回轉(zhuǎn)B軸的CNC超精密金剛石車削機(jī)床對(duì)工裝定位面進(jìn)行車削，保證該定位面垂直或平行于B軸回轉(zhuǎn)中心；將梯形棱鏡裝卡在工裝上，使梯形棱鏡定位面法向方向平行于B軸回轉(zhuǎn)中心，光學(xué)表面中心法向方向與機(jī)床主軸回轉(zhuǎn)中心重合。

2.如權(quán)利要求1所述的高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法，其特征在于，所述第四步中，使用帶有回轉(zhuǎn)B軸的CNC超精密金剛石車削機(jī)床和金剛石飛刀車削梯形棱鏡，通過旋轉(zhuǎn)B軸，依次車削梯形棱鏡三個(gè)光學(xué)表面P、H和Q；其中，梯形棱鏡三個(gè)光學(xué)表面為一次裝卡車削。

3.如權(quán)利要求1所述的高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法，其特征在于，所述第二步中，梯形棱鏡半成品的定位面M1和M2之間的形位尺寸為最終加工尺寸，其平行度優(yōu)于1″；梯形棱鏡半成品的定位面M3和光學(xué)表面H之間的形位尺寸為最終加工尺寸與H面的剩余加工車削量之和，其平行度優(yōu)于1″。

4.如權(quán)利要求1所述的高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法，其特征在于，所述第三步中，梯形棱鏡裝卡在工裝上后，定位面M1和M2與B軸回轉(zhuǎn)中心的垂直精度優(yōu)于10″。

5.如權(quán)利要求2所述的高精度CVD ZnSe梯形棱鏡加工方法，其特征在于，所述第四步中，車削梯形棱鏡三個(gè)光學(xué)表面P、H和Q后，三個(gè)光學(xué)表面中心法向與主軸回轉(zhuǎn)中心平行，超精密車床的主軸回轉(zhuǎn)中心與B軸回轉(zhuǎn)中心在機(jī)床坐標(biāo)系下絕對(duì)垂直。