[發明專利]鈷靶坯的制作方法在審
| 申請號： | 201811319501.0 | 申請日： | 2018-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN111155060A | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;王學澤;黃東長 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 吳敏 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鈷靶坯 制作方法 | ||
1.一種鈷靶坯的制作方法，其特征在于，包括步驟：
提供鈷錠，將所述鈷錠進行熱軋工藝，形成初級鈷靶坯；
將熱軋工藝后的所述初級鈷靶坯進行退火處理；
將退火處理后的所述初級鈷靶坯進行冷軋工藝。
2.如權利要求1所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，所述熱軋工藝控制每次軋制變形量為10％-15％，總軋制變形量大于或等于80％。
3.如權利要求1所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，所述退火處理工藝溫度為600℃-700℃，保溫時間為60min-120min。
4.如權利要求1所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，所述冷軋工藝控制變形量為15％-20％。
5.如權利要求1所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，還包括步驟：將冷軋工藝后的所述初級鈷靶坯進行加工，形成鈷靶坯。
6.如權利要求5所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，所述加工處理為立軸圓臺平面磨床加工。
7.如權利要求6所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，所述立軸圓臺平面磨床加工控制轉速為900r/min-1000r/min，進給量為0.05mm/min-0.1mm/min。
8.如權利要求1所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，將所述鈷錠進行熱軋工藝之前，還包括步驟：對所述鈷錠進行2-3次鍛造工藝。
9.如權利要求8所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，每次對所述鈷錠進行鍛造工藝前，包括步驟：對所述鈷錠進行預熱，預熱溫度為850℃-950℃。
10.如權利要求8所述鈷靶坯的制作方法，其特征在于，每次對所述鈷錠進行鍛造工藝后，對所述鈷錠進行退火處理。
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